[實(shí)用新型]一種線性蒸發(fā)源以及蒸鍍設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320636959.5 | 申請日: | 2013-10-15 |
| 公開(公告)號: | CN203546136U | 公開(公告)日: | 2014-04-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蘇志瑋;王演隆 | 申請(專利權(quán))人: | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 隆天國際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人: | 黃嵩泉;呂俊清 |
| 地址: | 201500 上海市金山區(qū)*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 線性 蒸發(fā) 以及 設(shè)備 | ||
1.一種線性蒸發(fā)源,包括:?
固定塊;?
坩鍋,所述坩鍋固定于所述固定塊之間,其內(nèi)部裝有有機(jī)材料,對待加工基板進(jìn)行鍍膜;?
坩鍋斷熱塊,所述坩鍋斷熱塊位于所述坩鍋的兩側(cè);?
側(cè)蓋板,所述側(cè)蓋板位于所述坩鍋斷熱塊的外側(cè);?
其特征在于,所述坩鍋斷熱塊上設(shè)有至少一個(gè)導(dǎo)向栓,所述坩鍋的側(cè)面設(shè)有與所述導(dǎo)向栓數(shù)量相同且位置對應(yīng)的鉆孔,運(yùn)行時(shí),每根所述導(dǎo)向栓均插入相對應(yīng)的所述鉆孔內(nèi),所述側(cè)蓋板裝于所述線性蒸發(fā)源的最外側(cè)。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上各設(shè)有至少一個(gè)導(dǎo)向栓,且兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置的導(dǎo)向栓的數(shù)量相同。?
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置的導(dǎo)向栓的位置沿所述坩鍋的中心線左右對稱。?
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上各設(shè)有一個(gè)導(dǎo)向栓,相應(yīng)地,所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊對應(yīng)地設(shè)有一鉆孔。?
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上各設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向栓,兩個(gè)所述導(dǎo)向栓上下設(shè)置,相應(yīng)地,所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊上兩個(gè)所述導(dǎo)向栓對應(yīng)地設(shè)有兩個(gè)鉆孔。?
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每一側(cè)的兩個(gè)所述導(dǎo)向栓之間的距離為2mm。?
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每一側(cè)的兩個(gè)所述導(dǎo)向栓之間的距離為6mm。?
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上各設(shè)有三個(gè)導(dǎo)向栓,三個(gè)導(dǎo)向栓上下設(shè)置,相應(yīng)地,所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊上的三個(gè)所述導(dǎo)向栓對應(yīng)地設(shè)有三個(gè)鉆孔。?
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每一側(cè)的兩個(gè)相鄰?的所述導(dǎo)向栓之間的距離均為2mm。?
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置的導(dǎo)向栓的位置不沿所述坩鍋的中心線左右對稱。?
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上各設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向栓,相應(yīng)地,所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊上對應(yīng)地設(shè)有兩個(gè)鉆孔,其中,一側(cè)的兩個(gè)所述導(dǎo)向栓之間的距離為2mm,另一側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)向栓之間的距離為6mm。?
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,兩側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置的導(dǎo)向栓的數(shù)量不相同。?
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,一側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置一個(gè)導(dǎo)向栓,另一側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置兩個(gè)導(dǎo)向栓。?
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,一側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置兩個(gè)導(dǎo)向栓,另一側(cè)的所述坩鍋斷熱塊上設(shè)置三個(gè)導(dǎo)向栓。?
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每個(gè)與所述鉆孔相對所述導(dǎo)向栓的縱截面的形狀為圓形、矩形、正方形、三角形、橢圓形或梯形中的任一種,相應(yīng)地,每個(gè)所述鉆孔的縱截面形狀與每個(gè)對應(yīng)的所述導(dǎo)向栓的縱截面形狀相同。?
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每個(gè)與所述鉆孔相對的所述導(dǎo)向栓的縱截面的形狀均相同。?
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每個(gè)所述導(dǎo)向栓的長度相同。?
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每個(gè)所述導(dǎo)向栓的長度為4mm,其深入所述坩鍋斷熱塊部分的長度為1mm,所述鉆孔的深度為3mm。?
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的線性蒸發(fā)源,其特征在于,每個(gè)與所述鉆孔相對所述導(dǎo)向栓的縱截面的面積都相同。?
20.一種蒸鍍設(shè)備,其包括:?
腔體;?
鍍膜傘架,所述鍍膜傘架位于所述腔體的頂部,固定待鍍膜的基板;?
其特征在于,還包括:?
根據(jù)權(quán)利1至19中任一項(xiàng)所述的線性蒸發(fā)源,所述線性蒸發(fā)源位于所述鍍膜傘架的下方,其裝有有機(jī)材料,對待鍍膜基板進(jìn)行加工。?
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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