[實用新型]一種裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置

有效

• 申請號: 201320634817.5
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN203487231U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 張磊磊
• 申請（專利權）人: 山東禹城漢能光伏有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 李桂存

技術領域

本實用新型涉及太陽能光伏技術領域，具體涉及一種裝載薄膜基片工件架的維護裝置。???

背景技術

在非晶硅薄膜太陽能電池生產制程中，對基片工件架打磨、清潔保養，是PECVD工藝不可忽略的難題。因尚無專用自動化的工件架打磨、清潔保養工具。目前工件架的處理方式：均為人工使用木質長條形工具進行打磨、保養作業。但工件架內基板之間的間距狹小，且結構較復雜因此人工處理使得中間位置難以做打磨、清潔保養徹底。打磨、清潔保養后，基板上仍舊會存在沉積反應殘留的硅基顆粒及鋁粉顆粒，這些存在的種種顆粒，在導電玻璃基片上沉積非晶硅薄膜完成不同光吸收層電池的制作時，不可避免的會有顆粒附著基片上，造成沉積導電薄膜時出現針孔、透空等鍍膜不良，影響薄膜電池的轉化效率。????

發明內容

本實用新型為了克服以上技術的不足，提供了一種打磨、清潔方便的裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置。

本實用新型克服其技術問題所采用的技術方案是：

本裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置，包括殼體、通過軸承轉動安裝于安裝于殼體內的傳動軸、安裝于殼體內的電機、安裝于電機輸出軸上的蝸桿、安裝于傳動軸尾端且與蝸桿相互嚙合的蝸輪、固定于殼體后方的彈簧電纜以及安裝于殼體后端的調速開關，電機一端連接于彈簧電纜的零線，另一端連接于雙向可控硅以及保險絲連接于彈簧電纜的火線，一電容并聯于雙向可控硅兩端，所述調速開關與電阻串聯后并聯于雙向可控硅兩端，所述傳動軸的頭端可拆卸的固定有用于打磨的打磨裝置以及用于清潔保養的保養裝置。

上述傳動軸的頭端沿徑向設置有若干錐孔，所述清潔保養裝置包括與錐孔錐度相匹配的錐柄Ⅰ、安裝于錐柄Ⅰ頭端的圓盤、若干彈簧以及固定于彈簧一端的夾板，所述彈簧的另一端固定于圓盤上，無塵布包繞于圓盤上并通過夾板夾持固定。

上述傳動軸的頭端沿徑向設置有若干錐孔，所述打磨裝置包括與錐孔錐度相匹配的錐柄Ⅱ以及沿圓周方向固定于錐柄Ⅱ頭端的若干砂紙片。

本實用新型的有益效果是：需要對工件架上裝載的薄膜基片進行打磨時，將打磨裝置安裝到傳動軸的前端，通過按動調速開關，改變阻值大小，通過雙向可控硅即可調整電壓波形，使電機調速，實現根據實際情況選擇合理的轉速，使打磨裝置深入到工件架內對薄膜基板進行打磨。使用方便簡單，提高了工作效率，蝸輪、蝸桿傳動具備自鎖功能，因此提高了使用的安全性。彈簧電纜具備伸縮性，可以根據生產時的需求彈性調整長度，既美觀又方便收納線纜。同理，當需要對基板上的硅粉顆粒以及鋁粉進行清除時，將打磨裝置拆除然后換上保養裝置即可。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的電路系統結構原理圖；

圖3為本實用新型的無塵布清潔夾頭結構示意圖；

圖4為本實用新型的打磨夾頭結構示意圖；

圖中，1.殼體?2.傳動軸?3.軸承?4.錐孔??5.蝸輪?6.蝸桿?7.電機?8.調速開關?9.彈簧電纜?10.保險絲?11.電容?12.雙向可控硅?13.電阻?14錐柄Ⅰ?15.圓盤?16.無塵布?17.彈簧?18.夾板?19.錐柄Ⅱ?20.砂紙片。

具體實施方式

下面結合附圖1至附圖4對本實用新型做進一步說明。

本裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置，包括殼體1、通過軸承3轉動安裝于安裝于殼體1內的傳動軸2、安裝于殼體1內的電機7、安裝于電機7輸出軸上的蝸桿6、安裝于傳動軸2尾端且與蝸桿6相互嚙合的蝸輪5、固定于殼體1后方的彈簧電纜9以及安裝于殼體1后端的調速開關8，電機7一端連接于彈簧電纜9的零線，另一端連接于雙向可控硅12以及保險絲10連接于彈簧電纜9的火線，一電容11并聯于雙向可控硅12兩端，調速開關8與電阻13串聯后并聯于雙向可控硅12兩端，傳動軸2的頭端可拆卸的固定有用于打磨的打磨裝置以及用于清潔保養的保養裝置。需要對工件架上裝載的薄膜基片進行打磨時，將打磨裝置安裝到傳動軸2的前端，通過按動調速開關8，改變阻值大小，通過雙向可控硅12即可調整電壓波形，使電機7調速，實現根據實際情況選擇合理的轉速，使打磨裝置深入到工件架內對薄膜基板進行打磨。使用方便簡單，提高了工作效率，蝸輪5、蝸桿6傳動具備自鎖功能，因此提高了使用的安全性。彈簧電纜9具備伸縮性，可以根據生產時的需求彈性調整長度，既美觀又方便收納線纜。同理，當需要對基板上的硅粉顆粒以及鋁粉進行清除時，將打磨裝置拆除然后換上保養裝置即可。

上述傳動軸2的頭端沿徑向設置有若干錐孔4，清潔保養裝置包括與錐孔4錐度相匹配的錐柄Ⅰ14、安裝于錐柄Ⅰ?14頭端的圓盤15、若干彈簧17以及固定于彈簧17一端的夾板18，彈簧17的另一端固定于圓盤15上，無塵布16包繞于圓盤15上并通過夾板18夾持固定。將無塵布16蘸酒精后通過夾板18夾持固定后，將錐柄Ⅰ?14插入到錐孔4中，按動調速開關8即可將圓盤15深入基板內部，通過無塵布16將基板上的硅粉顆粒以及鋁粉顆粒吸附到無塵布16上，實現保養清潔的作用。打磨裝置包括與錐孔4錐度相匹配的錐柄Ⅱ?19以及沿圓周方向固定于錐柄Ⅱ?19頭端的若干砂紙片20。需要對裝載薄膜基片的工件架進行打磨時，將錐柄Ⅱ?19插入到錐孔4中，按動調速開關8使電機7驅動砂紙片20旋轉對工件架基板內部毛刺位置進行打磨剖光，可以根據實際情況調高轉速。由于存在多個錐孔，因此一次可以安裝多個打磨裝置或者保養裝置以提高工作效率。