[實用新型]一種裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置

有效

• 申請號: 201320634817.5
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN203487231U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 張磊磊
• 申請（專利權）人: 山東禹城漢能光伏有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 李桂存

1.一種裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置，其特征在于：包括殼體（1）、通過軸承（3）轉動安裝于安裝于殼體（1）內的傳動軸（2）、安裝于殼體（1）內的電機（7）、安裝于電機（7）輸出軸上的蝸桿（6）、安裝于傳動軸（2）尾端且與蝸桿（6）相互嚙合的蝸輪（5）、固定于殼體（1）后方的彈簧電纜（9）以及安裝于殼體（1）后端的調速開關（8），電機（7）一端連接于彈簧電纜（9）的零線，另一端連接于雙向可控硅（12）以及保險絲（10）連接于彈簧電纜（9）的火線，一電容（11）并聯于雙向可控硅（12）兩端，所述調速開關（8）與電阻（13）串聯后并聯于雙向可控硅（12）兩端，所述傳動軸（2）的頭端可拆卸的固定有用于打磨的打磨裝置或用于清潔保養的保養裝置。

2.根據權利要求1所述的裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置，其特征在于：所述傳動軸（2）的頭端沿徑向設置有若干錐孔（4），所述清潔保養裝置包括與錐孔（4）錐度相匹配的錐柄Ⅰ（14）、安裝于錐柄Ⅰ（14）頭端的圓盤（15）、若干彈簧（17）以及固定于彈簧（17）一端的夾板（18），所述彈簧（17）的另一端固定于圓盤（15）上，無塵布（16）包繞于圓盤（15）上并通過夾板（18）夾持固定。

3.根據權利要求1所述的裝載薄膜基片工件架的打磨、保養裝置，其特征在于：所述傳動軸（2）的頭端沿徑向設置有若干錐孔（4），所述打磨裝置包括與錐孔（4）錐度相匹配的錐柄Ⅱ（19）以及沿圓周方向固定于錐柄Ⅱ（19）頭端的若干砂紙片（20）。