[實用新型]晶圓盒底盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320629832.0
• 申請日: 2013-10-12
• 公開（公告）號: CN203588980U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃建豪;呂保義;鐘承恩;王圣元
• 申請（專利權(quán)）人: 家登精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 王晶

1.一種晶圓盒底盤，其特征在于包括：

一下蓋以及一封板，該下蓋與該封板蓋合形成該晶圓盒底盤；

一轉(zhuǎn)動裝置，與該下蓋相連，其設(shè)有至少二輔助組件及至少二弧形軌道；

一彈性定位組件，設(shè)有至少二凹槽，該彈性定位組件與該輔助組件相連，用以限定該輔助組件的移動范圍；

至少二門閂組件，與該弧形軌道相連；以及

一T型聯(lián)結(jié)組件，該T型聯(lián)結(jié)組件與該門閂組件以及該下蓋部分連接；

其中，該轉(zhuǎn)動裝置帶動該門閂組件于該弧形軌道中移動，并使該輔助組件在該彈性定位組件內(nèi)撐開轉(zhuǎn)動，并利用該彈性定位組件的該凹槽來達(dá)到定位，且該門閂組件帶動該T型聯(lián)結(jié)組件轉(zhuǎn)動，該T型聯(lián)結(jié)組件則使該門閂組件朝斜方向推進(jìn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述下蓋為一透明下蓋。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述下蓋還設(shè)有至少一破真空孔、至少二開口以及一密封組件，該破真空孔依序設(shè)有一濾網(wǎng)以及一氣密罩蓋，該密封組件設(shè)有至少一補強肋，該開口分別設(shè)置在該下蓋兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述密封組件置于該下蓋之一溝槽中，該溝槽并具有至少一孔洞，供該補強肋通過。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述封板還設(shè)有至少一排水孔以及一容置空間，該排水孔設(shè)置于該封板底部，該容置空間設(shè)置于該封板外部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述容置空間用以與一夾蓋蓋合，該夾蓋并設(shè)有一無線射頻辨識組件。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述封板并與至少一十字肋相連，該十字肋用以壓制該氣密罩蓋防止該氣密罩蓋掉落。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述輔助組件還設(shè)有至少一固定組件，用以防止該輔助組件脫出該彈性定位組件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒底盤，其特征在于，所述輔助組件為軸承、螺帽或套筒。