[實用新型]靶材組件有效
| 申請號： | 201320616531.4 | 申請日： | 2013-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN203474886U | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;宋佳 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張亞利;駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 組件 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材組件，應用于磁控濺射，其特征在于，包括：
靶材和背板，所述靶材和背板無間隙貼合；
所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有兩個靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括與背板貼合的第一貼合面、與第一貼合面相對的第一表面，所述第一表面為平面；
所述背板包括與所述靶材貼合的第二貼合面，與所述第二貼和面相對的第二表面，所述第二表面為平面，所述第一表面與第二表面平行。
2.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，位于背板邊緣的靶材坯料的厚度大于位于背板中心的靶材坯料的厚度。
3.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述背板為長方體，所述靶材坯料為長方體，所述靶材坯料有六塊，呈三行兩列分布，中間行的所述靶材坯料的厚度小于第一行、第三行的靶材坯料的厚度。
4.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述背板為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
5.如權利要求4所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
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