[實用新型]可調式真空夾具

有效

• 申請號: 201320603421.4
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN203579447U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 石建東
• 申請（專利權）人: 廣東尚能光電技術有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙) 44314
• 代理人: 張約宗;張秋紅

技術領域

本實用新型涉及夾緊裝置，尤其涉及一種可調式真空夾具。

背景技術

在通信、電子、機械制造、汽車、以及包裝行業里，經常會有對平面工件（特別是小型平面工件）的裝夾要求。以光通信領域為例，近年我國寬帶接入和光纖到戶的發展使平面光波導芯片產品的需求量猛增。平面光波導是將光波導制作到平面基板上的技術，是實現光通信大容量和光器件集成化的有效手段。平面波導可以制成陣列波導光柵，光分路器，多通道可調光衰減器、光開關等光器件。在光通信網絡中間，光信號依賴平面光波導制成的陣列波導光柵被廣泛用來實現波分復用以提高傳輸效率。在光通信的最末端，光纖到戶階段，平面光波導光分路器則提供了目前最有效的無源光網絡寬帶接入方案。

而在生產平面光波導芯片過程中，重要的步驟之一即對芯片進行測試。在測試過程中，要保證芯片的位置不發生改變，則需要將芯片進行夾緊后進行測試工作。市場上常見的夾緊裝置的夾緊力通常是來源于螺紋的緊固力，但是容易對平面光波導光分路器芯片造成傷害。目前真空夾具作為被測件和測試設備之間的連接體，已經廣泛地應用于各種自動測試設備。

在相關技術中，應用真空夾具進行測試時，首先將被測件放置于承載臺上，打開真空開關抽走真空夾具中的空氣，夾具即可吸合，夾住被測件進行測試工作。在測試完成后，關閉真空開關，空氣進入真空夾具，被測件與真空夾具分離。

該真空夾具對被測芯片的尺寸要求嚴格，一種夾具只適合某一尺寸的芯片，真空夾具使用不靈活。但是在實際工作過程中，芯片尺寸大多不相同。在測試尺寸較大的芯片時，由于芯片過大，較小的夾具無法吸住該芯片，芯片在夾具中不穩定，影響芯片的測試效果。而芯片尺寸較小時，芯片不能覆蓋承載臺上的所有氣孔，導致喪失真空，芯片不穩定從而影響測試效果。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題在于，提供一種靈活的可調式真空夾具。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種可調式真空夾具，包括用于放置被測件的測試臺、設置于所述測試臺上的多個氣孔單元、與所述多個氣孔單元相通的真空管道以及與所述真空管道相連的真空發生器。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述真空管道靠近所述氣孔單元的端還設置有可拆式密封件，以隔斷所述真空管道和與其相通的氣孔單元。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述真空管道包括分別與所述多個氣孔單元相連通的多個支管以及將所述多個支管連通的總管，所述總管連接于所述真空發生器。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述支管包括第一管段與第二管段，且所述第一管段的內徑大于所述第二管段的內徑。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述密封件包括密封螺絲，所述密封螺絲包括頭部與螺紋部。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述密封件設置于所述支管內，且所述頭部位于第一管段內，所述螺紋部位于第二管段內。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述第二管段內壁面還設有與所述螺紋部相對的螺紋段。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述密封件還包括密封墊片，所述密封墊片設置于所述密封螺絲與支管之間。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述氣孔單元的大小大于或等于所述密封件的大小。

優選地，上述可調式真空夾具中，所述可調試真空夾具為芯片用可調式真空夾具，所述被測件為芯片。

綜上所述，由于采取了上述技術方案，本實用新型的有益效果為：

由于本實用新型可調式真空夾具中，在測試臺上設置了多個氣孔單元，并通過真空管道與多個氣孔單元相通來吸緊被測件，使得本實用新型的真空夾具能靈活地適應多種尺寸的被測件，將被測件穩固地吸在測試臺上進行測試。

附圖說明

下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中：

圖1是本實用新型一個實施例的截面示意圖；

圖2是本實用新型實施例中測試臺的截面示意圖；

圖3是本實用新型實施例中密封件的結構示意圖。

具體實施方式

為了對本實用新型的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖詳細說明本實用新型的具體實施方式。