[實用新型]可調式真空夾具

有效

• 申請號: 201320603421.4
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN203579447U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 石建東
• 申請（專利權）人: 廣東尚能光電技術有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙) 44314
• 代理人: 張約宗;張秋紅

1.一種可調式真空夾具，其特征在于，包括用于放置被測件的測試臺（1）、設置于所述測試臺（1）上的多個氣孔單元（11）、與所述多個氣孔單元（11）相通的真空管道（2）以及與所述真空管道（2）相連的真空發生器。

2.根據權利要求1所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述真空管道（2）靠近所述氣孔單元（11）的端還設置有可拆式密封件（3），以隔斷所述真空管道（2）和與其相通的氣孔單元（11）。

3.根據權利要求2所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述真空管道（2）包括分別與所述多個氣孔單元（11）相連通的多個支管（21）以及將所述多個支管（21）連通的總管（22），所述總管（22）連接于所述真空發生器。

4.根據權利要求3所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述支管（21）包括第一管段（210）與第二管段（211），且所述第一管段（210）的內徑大于所述第二管段（211）的內徑。

5.根據權利要求4所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述密封件（3）包括密封螺絲（31），所述密封螺絲（31）包括頭部（310）與螺紋部（311）。

6.根據權利要求5所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述密封件（3）設置于所述支管（21）內，且所述頭部（310）位于第一管段（210）內，所述螺紋部（311）位于第二管段（211）內。

7.根據權利要求6所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述第二管段（211）內壁面還設有與所述螺紋部（311）相對的螺紋段（212）。

8.根據權利要求5所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述密封件（3）還包括密封墊片（32），所述密封墊片（32）設置于所述密封螺絲（31）與支管（21）之間。

9.根據權利要求2所述的可調式真空夾具，其特征在于，所述氣孔單元（11）的大小大于或等于所述密封件的大小。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的可調式真空夾具，其特征在于，該可調式真空夾具為芯片用可調式真空夾具，所述被測件為芯片。