[實用新型]一種光罩夾取裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320603194.5
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN203480209U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陶文松
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及光蝕刻的配套設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種光罩夾取裝置。

背景技術(shù)

光刻機(jī)（Mask?Aligner)又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩膜對準(zhǔn)光刻，所以叫Mask?Alignment?System。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、等工序。Photolithography（光刻）意思是用光來制作一個圖形（工藝）；在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程。

光罩（英文：Reticle,Mask）：在制作IC的過程中，利用光蝕刻技術(shù)，在半導(dǎo)體上形成圖型，為將圖型復(fù)制于晶圓上，必須透過光罩做用的原理。比如沖洗照片時，利用底片將影像復(fù)制至相片上。

實體結(jié)構(gòu)：布滿積體電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。倍縮光罩（Reticle）：當(dāng)鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為倍縮光罩，通常圖型要放大4倍、5倍或10倍。光罩（Mask）：當(dāng)鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個晶圓時稱之為光罩。

光罩業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版，英文名稱MASK或PHOTOMASK，材質(zhì)：石英玻璃、金屬鉻和感光膠，該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設(shè)計好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上，被曝光的區(qū)域會被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光掩模版，然后應(yīng)用于對集成電路進(jìn)行投影定位，通過集成電路光刻機(jī)對所投影的電路進(jìn)行光蝕刻，其生產(chǎn)加工工序為：曝光，顯影，去感光膠，最后應(yīng)用于光蝕刻。

目前光罩承載裝置如圖1和圖2所示，有承載光罩3'的升降平臺1'，設(shè)置在升降平臺1'外部的金屬外框2'，支撐光罩3'的光罩鉗架4'。由于操作空間狹小，在該裝置發(fā)生機(jī)械故障的情況下，很難用手安全取出光罩3'，光罩3'受到損傷的幾率很高。

由上可見，如何在該裝置發(fā)生機(jī)械故障的情況下安全取出光罩是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種光罩夾取裝置，為了在光刻機(jī)等內(nèi)部光罩升降平臺發(fā)生嚴(yán)重機(jī)械故障時，可以安全有效的轉(zhuǎn)移對產(chǎn)品序列關(guān)鍵的光罩以降低在轉(zhuǎn)移過程中對光罩損傷的幾率。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種光罩夾取裝置，包括：交叉設(shè)置的第一活動支架和第二活動支架；設(shè)置在第一活動支架和第二活動支架的交叉處用于連接第一活動支架和第二活動支架的交叉中軸；分別設(shè)置在第一活動支架和第二活動支架底端用于卡住光罩以取出光罩的兩個棘爪；一端設(shè)置在第一活動支架頂部、另一端設(shè)置在第二活動支架頂部，通過一端從第一活動支架或第二活動支架上拆下使得交叉的第一活動支架和第二活動支架張開角度可調(diào)的安全鎖扣。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，還包括分別設(shè)置在第一活動支架的頂端表面和和第二活動支架的頂端表面的保護(hù)層。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述第一活動支架和所述第二活動支架均為方形框架。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，兩個所述棘爪在相對的一側(cè)各設(shè)有用于卡住光罩的凹槽。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述安全鎖扣包括一個卡槽和兩個卡栓；所述兩個卡栓分別固定在第一活動支架頂部和第二活動支架頂部；所述卡槽的兩端卡住兩個卡栓。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述安全鎖扣與第一活動支架和第二活動支架的連接位置位于兩個棘爪卡住光罩時第一活動支架和第二活動支架的開口角度相配。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述卡槽為長方形。

如上所述，本實用新型的一種光罩夾取裝置，具有以下有益效果：

1、本實用新型通過設(shè)計一個交叉設(shè)置的第一活動支架和第二活動支架，并在第一活動支架和第二活動支架底端設(shè)置用于卡住光罩以取出光罩的兩個棘爪，在光刻機(jī)等內(nèi)部光罩升降平臺發(fā)生嚴(yán)重機(jī)械故障時，可以安全有效的轉(zhuǎn)移對產(chǎn)品序列關(guān)鍵的光罩器件，大大降低在轉(zhuǎn)移過程中對光罩器件損傷的幾率。

2、本實用新型是設(shè)備維護(hù)人員通過長期實踐總結(jié)，認(rèn)真研究相關(guān)機(jī)械結(jié)構(gòu)以后開發(fā)出適用于半導(dǎo)體行業(yè)大多數(shù)光刻機(jī)內(nèi)部光罩器件傳輸平臺的可以安全轉(zhuǎn)移光罩的特殊用途專業(yè)工具。

3、本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，實用性高。

附圖說明

圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的光罩承載裝置的俯視圖。

圖2顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的光罩承載裝置的主視圖。