[實用新型]一種光罩夾取裝置有效
| 申請號： | 201320603194.5 | 申請日： | 2013-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN203480209U | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 陶文松 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 100176 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光罩夾取 裝置 | ||
1.一種光罩夾取裝置，其特征在于，包括：
交叉設置的第一活動支架和第二活動支架；
設置在第一活動支架和第二活動支架的交叉處用于連接第一活動支架和第二活動支架的交叉中軸；
分別設置在第一活動支架和第二活動支架底端用于卡住光罩以取出光罩的兩個棘爪；
一端設置在第一活動支架頂部、另一端設置在第二活動支架頂部，通過一端從第一活動支架或第二活動支架上拆下使得交叉的第一活動支架和第二活動支架張開角度可調的安全鎖扣。
2.根據權利要求1所述的光罩夾取裝置，其特征在于，還包括分別設置在第一活動支架的頂端表面和和第二活動支架的頂端表面的保護層。
3.根據權利要求1或2所述的光罩夾取裝置，其特征在于，所述第一活動支架和所述第二活動支架均為方形框架。
4.根據權利要求1所述的光罩夾取裝置，其特征在于，兩個所述棘爪在相對的一側各設有用于卡住光罩的凹槽。
5.根據權利要求1所述的光罩夾取裝置，其特征在于，所述安全鎖扣包括一個卡槽和兩個卡栓；所述兩個卡栓分別固定在第一活動支架頂部和第二活動支架頂部；所述卡槽的兩端卡住兩個卡栓。
6.根據權利要求1或5所述的光罩夾取裝置，其特征在于，所述安全鎖扣與第一活動支架和第二活動支架的連接位置位于兩個棘爪卡住光罩時第一活動支架和第二活動支架的開口角度相配。
7.根據權利要求5所述的光罩夾取裝置，其特征在于，所述卡槽為長方形。
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