[實用新型]放電離子化電流檢測器

有效

• 申請號: 201320594806.9
• 申請日: 2013-09-25
• 公開（公告）號: CN203772801U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 古賀圣規;增田真吾
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N27/70
• 分類號: G01N27/70
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 肖華

技術領域

本實用新型涉及一種放電離子化電流檢測器，在檢測器主體內通過放電使等離子體生成氣體電離生成等離子體，利用來自此等離子體的激發光，使從管柱供給到檢測器主體內的試樣氣體中的試樣成分離子化，由此檢測出離子化電流。?

背景技術

作為應用于氣相色譜儀等的分析裝置的檢測器的一例，已知有放電離子化電流檢測器。采用此種檢測器的話，將試樣氣體和等離子體生成氣體供給到檢測器主體內，使等離子體在檢測器主體內生成，使試樣氣體中的試樣成分離子化，且使檢測器主體內的氣體從排氣通路排出(例如，參照下述專利文獻1)。?

圖2是表示現有的放電離子化電流檢測器的構成例的概略圖。在該放電離子化電流檢測器中具有：中空狀的檢測器主體101；向檢測器主體101內供給試樣氣體的管柱102；向檢測器主體101內供給等離子體生成氣體的等離子體生成氣體供給通路103；以及排出檢測器主體101內的氣體的排氣通路104。?

檢測器主體101上設置有等離子體生成用電極111和離子化電流檢測用電極112。從等離子體生成氣體供給通路103向檢測器主體101供給的等離子體生成氣體，通過等離子體生成用電極111的放電被電解，在檢測器主體101內產生等離子體。從管柱102向檢測器主體101內供給的試樣氣體中的試樣成分，通過自等離子體的激發光而被離子化，通過在其與離子化電流檢測用電極112之間電子交換而產生離子化電流。?

排氣通路104由例如第一排氣通路141和第二排氣通路142構成。第一排氣通路141上設置有對于通過此排氣通路141的氣體的阻尼105，第二排氣通路142上設有對于通過此排氣通路142的氣體的阻尼106。各個阻尼105、106可以是固定阻尼，也可以是可變阻尼。?

第一排氣通路141相對于離子化電流檢測用電極112從等離子體生成氣體供給通路103側(圖2的上方側)排出檢測器主體101內的氣體。另一方面，第二排氣通路142相對于離子化電流檢測用電極112從等離子體生成氣體供給通路103側的相反側(圖2的下?方側)即管柱102側排出檢測器主體101內的氣體。?

因此，根據對于通過第一排氣通路141的氣體的阻尼105與對于通過第二排氣通路142的氣體的阻尼106的比值(阻尼比值)，在檢測器主體101內(離子化電流檢測用電極112的周圍)的等離子體生成氣體的濃度發生變化。該放電離子化電流檢測器，即所謂的濃度型檢測器，具有檢測器主體101內的等離子體生成氣體的濃度越高，檢測靈敏度越低的特性。因此，通過設定阻尼105與阻尼106的阻尼比以使檢測器主體101內的等離子體生成氣體的濃度為必要的最低限度，從而使高靈敏度的檢測成為可能。?

等離子體生成氣體供給通路103上設有例如比例控制閥107。通過調整該比例控制閥107的開度，能調整供給到檢測器主體101內的等離子體生成氣體的流量。在等離子體生成氣體供給通路103的比例控制閥107和檢測器主體101之間設有阻尼108，在該阻尼108的上游側設有壓力傳感器109。?

由壓力傳感器109檢測的等離子體生成氣體的壓力值被輸入控制部110。控制部110根據由壓力傳感器109輸入的壓力值和阻尼108的阻尼值，測量等離子體生成氣體的流量，調整比例控制閥107的開度以使得該流量為一定值。?

現有技術文獻?

專利文獻?

專利文獻1：日本特開2011-158357號公報?

實用新型內容

實用新型所要解決的課題?

如上所述，在排出檢測器主體101內的氣體的排氣通路104上設置有阻尼105和阻尼106的結構中，檢測器主體101內產生較大的壓力。但是，由于檢測器主體101內的壓力不是一定的，因此具有不能精確地計算出管柱102中的試樣氣體的流量(柱流量)、線速度(管柱線速度)這樣的問題。?

例如，采用可變阻尼作為阻尼105、106的情況下，根據各個阻尼105、106的阻尼值或阻尼比值的變化，檢測器主體101內的壓力變化。由于根據管柱102的進口壓力和出口壓力計算柱流量和管柱線速度，在作為管柱102的出口壓力的檢測器主體101內的壓力不明確的情況下，柱流量和管柱線速度不能精確地計算出來。?