[實用新型]放電離子化電流檢測器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320594806.9 | 申請日： | 2013-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN203772801U | 公開（公告）日： | 2014-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 古賀圣規(guī);增田真吾 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | G01N27/70 | 分類號： | G01N27/70 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務(wù)所 31210 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 放電 離子化 電流 檢測器 | ||
1.一種放電離子化電流檢測器，其特征在于，具有：?
中空狀的檢測器主體；?
管柱，所述管柱向所述檢測器主體內(nèi)供給試樣氣體；?
等離子體生成氣體供給通路，所述等離子體生成氣體供給通路向所述檢測器主體內(nèi)供給等離子體生成氣體；?
等離子體產(chǎn)生部，所述等離子體產(chǎn)生部通過放電使等離子體生成氣體電離，而產(chǎn)生等離子體；?
離子化電流檢測部，所述離子化電流檢測部基于通過自等離子體的激發(fā)光而被離子化的試樣氣體中的試樣成分，來檢測離子化電流；?
排氣通路，所述排氣通路排出所述檢測器主體內(nèi)的氣體，由于對通過的氣體具有規(guī)定的阻尼，從而在所述檢測體主體內(nèi)產(chǎn)生壓力；以及?
壓力傳感器，所述壓力傳感器測定所述檢測器主體內(nèi)的壓力。?
2.如權(quán)利要求1所述的放電離子化電流檢測器，其特征在于，所述排氣通路中包含有：相對于所述離子化電流檢測部從所述等離子體生成氣體供給通路側(cè)排出所述檢測器主體內(nèi)的氣體的第一排氣通路，以及相對于所述離子化電流檢測部從所述等離子體生成氣體供給通路側(cè)的相反側(cè)排出所述檢測器主體內(nèi)的氣體的第二排氣通路。?
3.如權(quán)利要求2所述的放電離子化電流檢測器，其特征在于，所述壓力傳感器設(shè)置于所述第一排氣通路。?
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