[實用新型]一種晶振片回收裝置

有效

• 申請號: 201320591113.4
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN203599144U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 趙德江;張家奇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

技術領域

本實用新型涉及晶振片回收利用領域，特別是涉及一種晶振片回收裝置。

背景技術

晶振片在膜厚控制領域是必不可少的控制元器件。晶振片的基本原理就是晶振的頻率會隨著膜厚的增加而改變，通過測試頻率的變化來確定膜厚和速率。同時，晶振片又屬于消耗型源器件，在使用后往往會報廢掉，產生一筆很大的費用。

常用的晶振片回收方法是：針對有機的晶振片采用溶液清洗，金屬的晶振片采用酸液清洗。這些方法都屬于化學方法，晶振片處理完成后精度和壽命都會下降，影響到晶振片的重復利用的精度。

實用新型內容

為了解決現有的晶振片在回收利用時采用化學方法清洗，晶振片處理完成后精度和壽命都會下降的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型的實施例提供一種晶振片回收裝置，包括：

密封腔體，所述腔體中設有用于盛放待回收晶振片的承載臺，所述腔體上設有排氣口；

用于對待回收晶振片進行加熱的加熱器，所述加熱器設置在承載臺上方與待回收晶振片相對的位置。

進一步地，還包括用于對待回收晶振片進行冷卻的液體冷卻器，所述液體冷卻器設置在所述承載臺上。

進一步地，所述液體冷卻器采用循環液體。

進一步地，所述液體冷卻裝置包括水、油或乙二醇溶液中的一種或多種。

進一步地，所述加熱器為電子束加熱器、紅外加熱器、微波加熱器、電阻加熱器或者紫外加熱器。

進一步地，所述加熱器包括電子束加熱器，所述電子束加熱器與各個待回收晶振片一一對應設置。

進一步地，還包括用于對所述腔體進行真空處理的真空器，所述真空器與所述排氣口相連接。

進一步地，所述真空器為真空泵。

進一步地，還包括控制單元，所述控制單元與加熱器相連接，用于向加熱器發送加熱的控制信號。

進一步地，還包括控制單元，所述控制單元與真空器相連接，用于向真空器發送抽真空的控制信號。

本實用新型的上述技術方案的有益效果如下：本實用新型的晶振片回收裝置將待回收的晶振片在密封腔體中利用加熱器蒸發掉晶振片表面的有機物，使得晶振片的頻率恢復到初始值，與化學方法相比，本實用新型可以在不影響晶振片性能的情況下多次重復使用，有效的節約了成本。

附圖說明

圖1為本實用新型提供的一種實施例晶振片回收裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型的一種實施例的加熱器的結構示意圖；

圖3為本實用新型的一種實施例的承載臺的結構示意圖；

圖4為電子束加熱器的結構示意圖；

圖5為本實用新型提供的第二種實施例晶振片回收裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。

如圖1所示，為本實用新型提供的一種實施例的結構示意圖，該晶振片回收裝置包括：

密封腔體100，所述密封腔體中設有用于盛放待回收晶振片200的承載臺101和排氣口，承載臺101上設有多個容納空間，待回收晶振片200放置在承載臺101的容納空間中；

加熱器300，用于對待回收晶振片進行加熱，以蒸發掉晶振片表面的有機物，所述加熱器設置在與待回收晶振片相對的位置，即設置于空腔中承載臺的上方與晶振片相對應的位置。

本實用新型的晶振片回收裝置將待回收的晶振片在密封腔體中利用加熱器蒸發掉晶振片表面的有機物，使得晶振片的頻率恢復到初始值，與化學方法相比，本實用新型可以在不影響晶振片性能的情況下多次重復使用，有效的節約了成本。

參閱圖1和3，本實用新型的晶振片回收裝置還包括用于對待回收晶振片進行冷卻的液體冷卻器400，所述液體冷卻器設置在所述承載臺上，用于對承載臺進行液體冷卻。本實用新型的腔體可以是各種適合的形狀，優選地，該腔體上設有排氣口，便于排出氣體。為了便于放入和取出晶振片，還在腔體上設有腔門。