[實(shí)用新型]一種晶振片回收裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320591113.4
• 申請(qǐng)日: 2013-09-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203599144U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙德江;張家奇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/10
• 分類號(hào): B08B3/10
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

1.一種晶振片回收裝置，其特征在于，包括：?

密封腔體，所述腔體中設(shè)有用于盛放待回收晶振片的承載臺(tái)，所述腔體上設(shè)有排氣口；?

用于對(duì)待回收晶振片進(jìn)行加熱的加熱器，所述加熱器設(shè)置在承載臺(tái)上方與待回收晶振片相對(duì)的位置。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括用于對(duì)待回收晶振片進(jìn)行冷卻的液體冷卻器，所述液體冷卻器設(shè)置在所述承載臺(tái)上。?

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述液體冷卻器采用循環(huán)液體。?

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述循環(huán)液體為水、油或者乙二醇溶液。?

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任何一項(xiàng)所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述加熱器為電子束加熱器、紅外加熱器、微波加熱器、電阻加熱器或者紫外加熱器。?

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述加熱器包括電子束加熱器，所述電子束加熱器與各個(gè)待回收晶振片一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。?

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任何一項(xiàng)所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括用于對(duì)所述腔體進(jìn)行真空處理的真空器，所述真空器與所述排氣口相連接。?

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶振片回收裝置，其特征在于，所述真空器為真空泵。?

9.根據(jù)權(quán)利要求1-4任何一項(xiàng)所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元與加熱器相連接，用于向加熱器發(fā)送加熱的控制信號(hào)。?

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶振片回收裝置，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元與真空器相連接，用于向真空器發(fā)送抽真空的控制信號(hào)。?