[實(shí)用新型]一種涂膠裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320588203.8
• 申請(qǐng)日: 2013-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN203610279U
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡鋒濤;陳起偉;侯柏宇;鄧覺為;羅建華;李斌;馬金金;杜興時(shí)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安神光安瑞光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/00
• 分類號(hào): B05C11/00
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 商宇科

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于LED技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種涂膠裝置。?

背景技術(shù)

目前LED制造過程中黃光工藝決定圖形化襯底的質(zhì)量，而黃光工藝中涂膠工藝質(zhì)量的好壞，直接影響后續(xù)制作圖形化襯底的質(zhì)量。晶片在涂膠時(shí)，膠泵把光刻膠從膠瓶打出來通過膠管精確的滴到旋轉(zhuǎn)的晶片中心，通過離心力把膠甩開，在晶片表面涂布一層均勻的膠，而膠中如果有雜質(zhì)和顆粒的話，后續(xù)制作圖形時(shí)就會(huì)出現(xiàn)圖形缺失、掉膠、發(fā)射狀濺影和黑點(diǎn)等情況，影響晶片加工的質(zhì)量。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的是提供一種涂膠裝置，其在膠泵管路中加入一個(gè)過濾器可在膠泵打膠時(shí)過濾掉膠中的雜質(zhì)和顆粒。?

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案如下：?

一種涂膠裝置包括依次連接的光刻膠瓶、膠泵和控制閥，該裝置還包括設(shè)置在膠泵與控制閥之間的耐化學(xué)品腐蝕的過濾器。?

上述過濾器為囊式過濾器。?

上述過濾器為過濾精度為0.1μm的過濾器。?

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：?

本實(shí)用新型在膠泵管路中加入一個(gè)過濾器，可在膠泵打膠時(shí)過濾掉膠中的雜質(zhì)和顆粒，可提升涂膠后膠層的質(zhì)量，提高在線的良率，降低返工率、節(jié)約原材料成本，增加設(shè)備的產(chǎn)能等。?

附圖說明

圖1為沒加過濾器的涂膠裝置示意圖；?

圖2為加了過濾器的涂膠裝置示意圖；?

圖3為過濾器結(jié)構(gòu)示意圖；?

其中：1—光刻膠瓶；2—管路；3—膠泵；4—控制閥；5—晶片；6—過?濾器；7—囊式過濾器；8—光刻膠進(jìn)；9—光刻膠出。?

具體實(shí)施方式

如圖2、圖3所示，本實(shí)用新型涂膠裝置由光刻膠瓶1、膠泵3、控制閥4組成，為解決涂膠后表面質(zhì)量的技術(shù)問題，本實(shí)用新型在膠路中增加一個(gè)囊式過濾器7。涂膠機(jī)在做涂膠工藝時(shí)，膠泵3先開始工作，它把光刻膠瓶1里的光刻膠先打到膠泵3里的存儲(chǔ)罐，然后通過精密驅(qū)動(dòng)電機(jī)精確的控制打膠的量，從存儲(chǔ)罐中把膠打出來，通過四分之一軟管連接到控制閥4，膠從控制閥4出來滴在晶片5上進(jìn)行涂膠。?

圖2與圖1相比，本實(shí)用新型在管路2中加入一個(gè)過濾器，可在膠泵打膠時(shí)過濾掉膠中的雜質(zhì)和顆粒，可提升涂膠后膠層的質(zhì)量，提高在線的良率，降低返工率、節(jié)約原材料成本，增加設(shè)備的產(chǎn)能等。?