[實用新型]一種涂膠裝置有效
| 申請號： | 201320588203.8 | 申請日： | 2013-09-23 |
| 公開（公告）號： | CN203610279U | 公開（公告）日： | 2014-05-28 |
| 發明（設計）人： | 胡鋒濤;陳起偉;侯柏宇;鄧覺為;羅建華;李斌;馬金金;杜興時 | 申請（專利權）人： | 西安神光安瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B05C11/00 | 分類號： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710100 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 涂膠 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種涂膠裝置，包括依次連接的光刻膠瓶、膠泵和控制閥，其特征在于：該裝置還包括設置在膠泵與控制閥之間的耐化學品腐蝕的過濾器。?
2.根據權利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于：所述過濾器為囊式過濾器。?
3.根據權利要求1或2所述的涂膠裝置，其特征在于：所述過濾器為過濾精度為0.1μm的過濾器。?
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