[實用新型]一種硅晶片差異化研磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320579656.4
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN203509895U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周濤;裴保齊;邵斌;李斌
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽鴻泰半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B24B37/08
• 分類號: B24B37/08
• 代理公司: 洛陽市凱旋專利事務(wù)所 41112
• 代理人: 陸君

1.一種硅晶片差異化研磨裝置，包括傳動系統(tǒng)和研磨系統(tǒng)，傳動系統(tǒng)由中心齒圈電機（8）、內(nèi)齒圈電機（9）和共有電機（10）構(gòu)成，研磨系統(tǒng)由中心齒圈（5）、內(nèi)齒圈（4）、上磨盤（7）、下磨盤（3）和行星游輪片（6）構(gòu)成，內(nèi)齒圈（4）內(nèi)設(shè)有上磨盤（7）和下磨盤（3），內(nèi)齒圈（4）、上磨盤（7）和下磨盤（3）為同心結(jié)構(gòu)，上磨盤（7）和下磨盤（3）的中心設(shè)有上磨盤驅(qū)動軸（1），上磨盤驅(qū)動軸（1）上套有中心齒圈（5），其特征是：在下磨盤（3）上面設(shè)有若干個行星游輪片（6），下磨盤（3）的下方設(shè)有中心齒圈電機（8）、內(nèi)齒圈電機（9）和共有電機（10），共有電機（10）通過齒輪帶動上磨盤驅(qū)動軸（1），中心齒圈電機（8）通過齒輪帶動中心齒圈（5），內(nèi)齒圈電機（9）通過齒輪帶動內(nèi)齒圈（4）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶片差異化研磨裝置，其特征是：所述內(nèi)齒圈電機（9）為交流變頻電機，交流變頻電機通過改變旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)方向再由齒輪帶動內(nèi)齒圈（4）的轉(zhuǎn)動方向和轉(zhuǎn)動速度，內(nèi)齒圈（4）帶動行星游輪片（6）進行正向或反向公轉(zhuǎn)，在中心齒圈（5）、上磨盤（7）和下磨盤（3）去除速率不變的情況下自由的分配了行星游輪片（6）的轉(zhuǎn)動速率，所述行星游輪片（6）的轉(zhuǎn)動速率實現(xiàn)了硅晶片雙面任意比例的差異化研磨。