[實用新型]PECVD載板轉換裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320576191.7
• 申請日: 2013-09-17
• 公開（公告）號: CN203451616U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 尤耀明;龔建新
• 申請（專利權）人: 無錫綠波新能源設備有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及一種轉換裝置，具體的說是一種PECVD載板轉換裝置，屬于太陽能鍍膜技術領域。

背景技術

C/C復合材料是一種新型高性能結構、功能復合材料，具有高強度、高模量、高斷裂韌性、高導熱、隔熱優(yōu)異和低密度等優(yōu)異特性，在機械、電子、化工、冶金和核能等領域中得到廣泛應用，并且在航天、航空和國防領域中的關鍵部件上大量應用。

C/C復合載板是應用C/C復合材料的載板，是板式PECVD中承載電池片中的重要工藝裝備。載板在設備上循環(huán)運動，一種尺寸規(guī)格的載板對應一種PECVD設備，但是不同設備廠商制造的設備所配的載板尺寸又不統(tǒng)一；目前各廠使用的載板尺寸寬都是1米，長度有1米、1.02米．1.05米.1.86米等多種；長度不同的載板不能在PECVD設備上通用.?而生產(chǎn)廠家都有二種戓二種以上尺寸的載板，剛開始毎臺設備都配備相應的載板，經(jīng)過一段時期后各種尺寸的載板損耗不同另外設備也要維護保養(yǎng)及檢修；這樣就導致設備和載板出現(xiàn)不匹配，若要保證不影向正常生產(chǎn)就只能增加載板數(shù)量；C/C載板由于材料價格大，故多配載板數(shù)量就會增加投入并提高成本及維護費用。

發(fā)明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足之處，從而提供一種PECVD載板轉換裝置，能使長度1.86米以下的載板通過該裝置轉換能在使用1.86米載板的設備上通用，減少了載板的總配備量，從而降低了生產(chǎn)成本。

按照本實用新型提供的技術方案，PECVD載板轉換裝置包括兩個互相平行的上導軌，其特征是：兩個上導軌上端通過螺釘共同連接上連接板，兩個上導軌下端通過螺釘共同連接下連接板。上導軌上表面兩端通過螺釘分別連接上限位導軌和下限位導軌，上導軌下表面通過螺釘連接下導軌。

進一步的，上限位導軌一端連接上連接板。

進一步的，下限位導軌一端連接下連接板。

進一步的，上限位導軌和下限位導軌之間的距離大于等于1.86米。

進一步的，上導軌和下導軌長度相同。

進一步的，上導軌采用鈦合金材料制作。

進一步的，上連接板、下連接板、下導軌、上限位導軌和下限位導軌采用C/C復合材料制作。

本實用新型與已有技術相比具有以下優(yōu)點：

本實用新型結構簡單、緊湊、合理，采用鈦合金導軌，提高了強度，提高了使用壽命；減少了載板的總配備量，降低了生產(chǎn)成本；使用方便，維護簡單。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為本實用新型使用狀態(tài)圖。

附圖標記說明：1-上連接板、2-下連接板、3-上導軌、4-下導軌、5-上限位導軌、6-下限位導軌。

具體實施方式

下面本實用新型將結合附圖中的實施例作進一步描述：

如圖1所示，本實用新型主要包括兩個互相平行的上導軌3，兩個上導軌3上端通過螺釘共同連接上連接板1，兩個上導軌3下端通過螺釘共同連接下連接板2。

上導軌3上表面兩端通過螺釘分別連接上限位導軌5和下限位導軌6，上限位導軌5一端連接上連接板1，下限位導軌6一端連接下連接板2。所述上限位導軌5和下限位導軌6之間的距離為1.86米。上限位導軌5和下限位導軌6之間的上導軌3部分用于連接各種不同長度尺寸的C/C復合載板。

上導軌3下表面通過螺釘連接下導軌4，上導軌3和下導軌4長度相同。

所述上導軌3采用鈦合金材料制作，上連接板1、下連接板2、下導軌4、上限位導軌5和下限位導軌6采用C/C復合材料制作。

本實用新型在使用時，如圖2所示，將不同規(guī)格尺寸的C/C復合載板的C/C復合導軌拆下，然后固定在上限位導軌5和下限位導軌6之間的上導軌3上即可。本實用新型采用鈦合金導軌，提高了強度，提高了使用壽命；減少了載板的總配備量，降低了生產(chǎn)成本；使用方便，維護簡單。