[實用新型]PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320576191.7
• 申請日: 2013-09-17
• 公開（公告）號: CN203451616U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 尤耀明;龔建新
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫綠波新能源設備有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

1.一種PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，包括兩個互相平行的上導軌（3），其特征是：兩個上導軌（3）上端通過螺釘共同連接上連接板（1），兩個上導軌（3）下端通過螺釘共同連接下連接板（2）；上導軌（3）上表面兩端通過螺釘分別連接上限位導軌（5）和下限位導軌（6），上導軌（3）下表面通過螺釘連接下導軌（4）。

2.如權(quán)利要求1所述的PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，其特征是：所述上限位導軌（5）一端連接上連接板（1）。

3.如權(quán)利要求1所述的PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，其特征是：所述下限位導軌（6）一端連接下連接板（2）。

4.如權(quán)利要求1所述的PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，其特征是：所述上限位導軌（5）和下限位導軌（6）之間的距離大于等于1.86米。

5.如權(quán)利要求1所述的PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，其特征是：所述上導軌（3）和下導軌（4）長度相同。

6.如權(quán)利要求1所述的PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，其特征是：所述上導軌（3）采用鈦合金材料制作。

7.如權(quán)利要求1所述的PECVD載板轉(zhuǎn)換裝置，其特征是：所述上連接板（1）、下連接板（2）、下導軌（4）、上限位導軌（5）和下限位導軌（6）采用C/C復合材料制作。