[實(shí)用新型]一種氟氣混合氣的處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320575136.6
• 申請(qǐng)日: 2013-09-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203469795U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐忠福;馬建修;陳艷珊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佛山市華特氣體有限公司;廣東華南特種氣體研究所有限公司;綏寧縣聯(lián)合化工有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01D53/78
• 分類(lèi)號(hào): B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 廣州三環(huán)專(zhuān)利代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種廢氣回收處理設(shè)備，尤其涉及一種氟氣混合氣的處理設(shè)備。

背景技術(shù)

目前市場(chǎng)上，特別是半導(dǎo)體電子行業(yè)用到的氟氣混合氣，這些混合氣使用后其尾氣含有一定量的氟氣，使用后的包裝物中也含有一定量的余氣氟氣混合氣，這些氣體不能直接排放到大氣中，需要進(jìn)行含氟化合物的處理。但是目前缺乏有效的氟氣混合氣處理裝置，工業(yè)上還是采用較為粗放的氫氧化鈣吸收塔處理，當(dāng)操作人員將含有氟氣廢氣的鋼瓶與吸收塔連接時(shí)容易發(fā)生泄漏，對(duì)操作人員和環(huán)境造成危害，而且其氟氣吸收不完全，經(jīng)過(guò)處理后仍然會(huì)有少量氟氣排放到大氣中，破壞環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，可有效處理氟氣混合氣中的氟氣，并且制成含氟工業(yè)原料，具有極高的操作安全性。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，包括第一操作柜和第二操作柜；所述第一操作柜正面設(shè)有第一操作手孔，頂部設(shè)有排氣管，內(nèi)部設(shè)有氣體混合裝置；所述第二操作柜的正面設(shè)有第二操作手孔，內(nèi)部設(shè)有順序連接的堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)，所述堿石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口設(shè)于所述第二操作柜外。

作為上述方案的改進(jìn)，所述氣體混合裝置包括惰性氣體連接頭和含氟廢氣連接頭，所述惰性氣體連接頭和所述含氟廢氣連接頭上均設(shè)有減壓閥。

作為上述方案的改進(jìn)，所述排氣管與所述碳酸鉀噴淋塔連接。

作為上述方案的改進(jìn)，所述排氣管、氣體混合裝置、堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)之間相互連接處均設(shè)有截止閥。

作為上述方案的改進(jìn)，所述第一操作柜設(shè)于所述第二操作柜中，所述第一操作柜和所述第二操作柜各自獨(dú)立密封。

實(shí)施本實(shí)用新型，具有如下有益效果：

所述第一操作柜和第二操作柜上均設(shè)有操作手孔，操作人員通過(guò)所述操作手孔對(duì)所述第一操作柜和第二操作柜內(nèi)的設(shè)備進(jìn)行操作，操作人員本身與操作柜內(nèi)空氣隔離，防止操作人員與操作柜內(nèi)有害氣體接觸，提高操作安全性。

所述氟氣混合氣經(jīng)過(guò)所述堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐和碳酸鉀噴淋塔的分級(jí)處理，可以將氟氣混合氣內(nèi)的氟氣充分吸收，并制成氟鹽等工業(yè)原料，既保護(hù)環(huán)境，也可以創(chuàng)造效益。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一種氟氣混合氣的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

如圖1所示，一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，包括第一操作柜1和第二操作柜2；所述第一操作柜1正面設(shè)有第一操作手孔3，頂部設(shè)有排氣管4，內(nèi)部設(shè)有氣體混合裝置5；所述第二操作柜2的正面設(shè)有第二操作手孔6，內(nèi)部設(shè)有順序連接的堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐9、碳酸鉀噴淋塔10和風(fēng)機(jī)11，所述堿石灰吸收塔7與所述氣體混合裝置5連接，所述風(fēng)機(jī)11的排風(fēng)口設(shè)于所述第二操作柜2外。

需要說(shuō)明的是，所述第一操作柜1和第二操作柜2上均設(shè)有操作手孔，操作人員通過(guò)所述操作手孔對(duì)所述第一操作柜1和第二操作柜2內(nèi)的設(shè)備進(jìn)行操作，操作人員本身與操作柜內(nèi)空氣隔離，防止操作人員與操作柜內(nèi)有害氣體接觸，提高操作安全性。

同時(shí)，所述氟氣混合氣經(jīng)過(guò)所述堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐9和碳酸鉀噴淋塔10的分級(jí)處理，可以將氟氣混合氣內(nèi)的氟氣充分吸收，并制成氟鹽等工業(yè)原料，既保護(hù)環(huán)境，也可以創(chuàng)造效益。

優(yōu)選地，所述氣體混合裝置5包括惰性氣體連接頭12和含氟廢氣連接頭13，所述惰性氣體連接頭12和所述含氟廢氣連接頭13上均設(shè)有減壓閥14。

需要說(shuō)明的是，所述惰性氣體連接頭12用于與裝有惰性氣體的鋼瓶連接，所述含氟廢氣連接頭13用于與裝有含氟混合氣的鋼瓶連接。

優(yōu)選地，所述排氣管4與所述碳酸鉀噴淋塔10連接。

需要說(shuō)明的是，所述第一操作柜1在操作人員更換鋼瓶時(shí)，容易發(fā)生少量泄漏，泄漏出的含氟廢氣經(jīng)過(guò)排氣管4通入所述碳酸鉀噴淋塔10進(jìn)行處理。

優(yōu)選地，所述排氣管4、氣體混合裝置5、堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐9、碳酸鉀噴淋塔10和風(fēng)機(jī)11之間相互連接處均設(shè)有截止閥15。

優(yōu)選地，所述第一操作柜1設(shè)于所述第二操作柜2中，所述第一操作柜1和所述第二操作柜2各自獨(dú)立密封。

下面，結(jié)合上文一種氟氣混合氣的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)描述，描述其工作原理：