[實用新型]一種氟氣混合氣的處理設備有效
| 申請號： | 201320575136.6 | 申請日： | 2013-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN203469795U | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 唐忠福;馬建修;陳艷珊 | 申請（專利權）人： | 佛山市華特氣體有限公司;廣東華南特種氣體研究所有限公司;綏寧縣聯合化工有限責任公司 |
| 主分類號： | B01D53/78 | 分類號： | B01D53/78;B01D53/68 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文 |
| 地址： | 528244 廣東省佛山*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氟氣 混合 處理 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種氟氣混合氣的處理設備，其特征在于，包括第一操作柜和第二操作柜；所述第一操作柜正面設有第一操作手孔，頂部設有排氣管，內部設有氣體混合裝置；所述第二操作柜的正面設有第二操作手孔，內部設有順序連接的堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風機，所述堿石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風機的排風口設于所述第二操作柜外。
2.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特征在于，所述氣體混合裝置包括惰性氣體連接頭和含氟廢氣連接頭，所述惰性氣體連接頭和所述含氟廢氣連接頭上均設有減壓閥。
3.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特征在于，所述排氣管與所述碳酸鉀噴淋塔連接。
4.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特征在于，所述排氣管、氣體混合裝置、堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風機之間相互連接處均設有截止閥。
5.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特征在于，所述第一操作柜設于所述第二操作柜中，所述第一操作柜和所述第二操作柜各自獨立密封。
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