[實用新型]探針裝置

有效

• 申請號: 201320566428.3
• 申請日: 2013-09-12
• 公開（公告）號: CN203535079U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 黃大猷;彭柏翰;藍關喜;徐明德;劉孟锜
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京中譽威圣知識產權代理有限公司 11279
• 代理人: 王正茂;叢芳

1.一種探針裝置，其特征在于，包含：

力臂，其一端用以固定在點測機上，其中所述力臂具有貫穿的鏤空區，且所述力臂為一體成型的金屬塊；

探針座，其連接于所述力臂相對于所述點測機的另一端；

探針，其連接于所述探針座相對于所述力臂的另一端；以及

至少一個感應元件，其位于所述力臂上，其中當所述力臂受力而變形時，至少一個所述感應元件隨所述力臂的變形量而產生觀測值變化。

2.如權利要求1所述的探針裝置，其特征在于，所述鏤空區的長度方向與所述力臂的長度方向相同。

3.如權利要求1所述的探針裝置，其特征在于，所述感應元件緊鄰所述鏤空區的一端。

4.如權利要求1所述的探針裝置，其特征在于，所述鏤空區的形狀為骨頭狀，所述鏤空區包含：

中央區；

兩個端部區，其分別連通于所述中央區的兩端，其中每一個所述端部區的寬度大于所述中央區的寬度。

5.如權利要求4所述的探針裝置，其特征在于，所述感應元件緊鄰所述兩個端部區之一。

6.如權利要求1所述的探針裝置，其特征在于，所述力臂具有相對的第一表面與第二表面，及相對的第三表面與第四表面，所述感應元件位于所述第一表面或所述第二表面上，且所述鏤空區貫穿所述第三表面與所述第四表面。

7.如權利要求6所述的探針裝置，其特征在于，所述感應元件的數量為兩個，所述兩個感應元件分別位于所述第一表面與所述第二表面上，所述兩個感應元件彼此相對且緊鄰所述鏤空區的一端。

8.如權利要求6所述的探針裝置，其特征在于，所述感應元件的數量為四個，所述四個感應元件位于所述第一表面與所述第二表面上，所述四個感應元件的兩者彼此相對且緊鄰所述鏤空區的一端，所述四個感應元件的另兩者彼此相對且緊鄰所述鏤空區的另一端。

9.如權利要求6所述的探針裝置，其特征在于，所述鏤空區的長度大于所述第三表面與所述第四表面間的距離。

10.如權利要求6所述的探針裝置，其特征在于，所述鏤空區的最大寬度大于所述第一表面與所述第二表面間的距離的一半。

11.如權利要求1所述的探針裝置，其特征在于，所述力臂與水平面平行或夾一個銳角。

12.如權利要求1所述的探針裝置，其特征在于，所述探針座包含：

夾針件，所述探針位于所述夾針件上；以及

轉接件，其連接于所述夾針件與所述力臂之間。

13.如權利要求1所述的探針裝置，所述感應元件為應變計或壓電材料。

14.如權利要求1所述的探針裝置，所述觀測值為電阻值或電壓值。

15.如權利要求1所述的探針裝置，所述鏤空區的形狀為長條狀。