[實用新型]一種掃描電鏡用薄片試樣夾具

有效

• 申請號: 201320556474.5
• 申請日: 2013-09-09
• 公開（公告）號: CN203534991U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 張彥文;王志奮;吳立新;陳士華;周元貴;許竹桃
• 申請（專利權）人: 武漢鋼鐵（集團）公司
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22;G01N23/203
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 段姣姣

技術領域

本實用新型涉及一種物體夾持夾具，具體屬于一種掃描電鏡用薄片試樣夾具。?

背景技術

掃描電鏡實驗室經常要分析薄片狀試樣，如薄片拉伸斷口、硅片斷口等。試樣一般要豎立放置觀察。?

目前，常用的試樣豎立方法是用導電膠將試樣粘附在試樣座上固定，或者用金屬擋塊固定等。采用導電膠粘附固定，其存在的不足是由于試樣自重以及導電膠具有一定的彈性，當圖像高倍放大時，該方法很容易發生圖像漂移。采用金屬擋塊固定存在定位的固定性差，圖像同樣易產生漂移。而且，以上兩種方法均不能同時觀察較多試樣，即一次僅能掃描一個，且固定分析時需反復抽真空，導致工作效率低下。?

通過查新，在所查公開發表文獻中，有關于一種掃描電鏡用薄片試樣夾具的報道，包括：用于電子背散射衍射測量的多功能樣品臺；包括固定塊和滑動塊的掃描電鏡截面觀測平臺夾具；配有螺栓和彈簧片的掃描電鏡分析樣品座；用于鑲嵌樣品的掃描電鏡專用夾具；掃描電子顯微鏡專用夾具；帶有固定螺栓的掃描電鏡樣品臺；掃描電鏡電子背散射衍射原位拉伸裝置；掃描電子顯微鏡多功能加載樣品臺；用于增強多樣品檢測的掃描電鏡試樣夾；用于掃描類電子顯微鏡的組合式試樣夾具；用于掃描類電子顯微鏡的平面試樣夾具。其解決的問題為有的用于背散射衍射實驗或解決固定不牢或增加冷鑲嵌樣品的導電性等。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術存在的不足，提供一種試樣放置的固定性好，能同時放置多片及不同厚度及寬度試樣，圖像不漂移，工作效率高的掃描電鏡用薄鋼板試樣夾具。?

實現上述目的的技術措施：?

一種掃描電鏡用薄片試樣夾具，其在于：其由底座、在底座長度方向兩端各連接的封板，連接于封板上的凹槽，由兩個凹槽形成的槽形滑道、裝在槽形滑道內的滑塊、滑塊上通過螺紋通孔連接的螺栓、底座與滑塊之間的間隙組成。

本實用新型的特點在于：試樣放置的固定性好，圖像不漂移，能同時放置多片不同厚度及寬度規格試樣，工作效率高，操作簡單，易實施。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；?

圖2為圖1中底座與槽形滑道連接后的A-A向視圖；

圖3為圖1的俯視結構示意圖；

圖4為圖1中滑塊的結構示意圖；

圖中：1—底座，2—槽形滑道，?3—滑塊，4—螺栓，5—封板，6—間隙，7—凹槽。

具體實施方式

下面結合附圖做進一步描述：?

一種掃描電鏡用薄片試樣夾具：其由底座1、在底座1長度方向上采用焊接或鉚接或螺栓連接在兩側連接的封板5，采用焊接或鉚接連接于封板5上的凹槽7，由兩個凹槽7形成的槽形滑道2、裝在槽形滑道2內的滑塊3、滑塊3上通過螺紋通孔連接的螺栓4、底座1與滑塊3之間的間隙6組成。

動作原理?

將試樣片置入滑塊3與底座1之間的間隙6，旋轉螺栓4使螺栓4頂緊試樣片即可，抽真空后即可進行試驗；當要進行多片試驗時，則選擇相應個數的滑塊3進行夾裝。在槽形滑道2上滑動滑塊3，即可調節滑塊3與滑塊3之間的間距，以適合不同寬度的試樣。檢測結束后，松開螺栓4，取出試樣片。

本具體實施方式為最佳例舉，并非對本實用新型技術方案的限制性實施。?