[實用新型]一種檢測晶體缺陷的裝置

有效

• 申請號: 201320527901.7
• 申請日: 2013-08-27
• 公開（公告）號: CN203465253U
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 張玉;曹建民;趙龍;宋旭寧;董永見
• 申請（專利權）人: 河北寧晉松宮半導體有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 河北東尚律師事務所 13124
• 代理人: 王文慶

1.一種檢測晶體缺陷的裝置，包括盛有腐蝕液的腐蝕容器（1）；其特征在于：還包括盛有恒溫水的恒溫水箱（2）；所述腐蝕容器（1）浸在恒溫水中；所述恒溫水箱（2）中且在腐蝕容器（1）的下方設有加熱器（3）和溫度傳感器（4）；恒溫水箱（2）的外側設有溫控儀（6），加熱器（3）和溫度傳感器（4）分別通過導線與溫控儀（6）連接。

2.根據權利要求1所述的一種檢測晶體缺陷的裝置，其特征在于：所述恒溫水箱（2）的橫截面形狀為方形或圓形。

3.根據權利要求1所述的一種檢測晶體缺陷的裝置，其特征在于：所述恒溫水箱（2）的上部固定有托架（5），腐蝕容器（2）放置在托架（5）上。

4.根據權利要求1所述的一種檢測晶體缺陷的裝置，其特征在于：所述溫控儀（6）通過繼電器與外部電源連接。

5.根據權利要求1所述的一種檢測晶體缺陷的裝置，其特征在于：所述加熱器（3）為一個或多個直型電熱管、U型電熱管或異型電熱管。

6.根據權利要求1所述的一種檢測晶體缺陷的裝置，其特征在于：所述腐蝕容器（1）浸在恒溫水中的高度與其露在恒溫水外的高度的比值為3：1。

7.根據權利要求1所述的一種檢測晶體缺陷的裝置，其特征在于：所述溫度傳感器（4）為pt100熱電阻。