[實用新型]MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201320517118.2 | 申請日： | 2013-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN203407016U | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發明（設計）人： | 龐勝利;解士翔 | 申請（專利權）人： | 歌爾聲學股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 濰坊正信專利事務所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261031 山東省濰*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 麥克風 | ||
【權利要求書】：
1.MEMS麥克風，包括線路板和罩設在所述線路板上的外殼組成的外部封裝結構，位于所述封裝結構內部的所述線路板上設有MEMS芯片以及與所述MEMS芯片電連接的ASIC芯片，其特征在于，還包括：與所述封裝結構內部連通的至少一個聲孔，所述封裝結構的內側對應所述聲孔處設有緩沖腔，所述封裝結構內側固定連接有蓋板，所述蓋板上對應所述緩沖腔的位置設有若干微孔。
2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述聲孔設置在所述外殼的頂部，所述外殼的內側對應所述聲孔處設有所述緩沖腔，所述蓋板與所述外殼的頂部內側固定連接。
3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述聲孔設置在所述線路板上對應所述MEMS芯片的位置，定義所述線路板與所述外殼相結合的一側為所述線路板的內側，所述線路板的內側對應所述聲孔處設有所述緩沖腔，所述蓋板與所述線路板的內側固定連接。
4.根據權利要求2或3所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述蓋板設置在所述緩沖腔內。
5.根據權利要求4所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述若干微孔與所述聲孔交錯設置。
6.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述聲孔設置為一個或者三個。
7.根據權利要求1、2、3或6所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述若干微孔與所述聲孔交錯設置。
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