[實用新型]直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置

有效

• 申請號: 201320512798.9
• 申請日: 2013-08-21
• 公開（公告）號: CN203462164U
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 張鑫;潘永娥;李強
• 申請（專利權）人: 寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

技術領域

本實用新型屬于單晶硅制造設備技術領域，涉及一種直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置。

背景技術

目前，在校準直拉單晶籽晶行程時，使用目測的方法，由于目測存在一定誤差，如果測量值比實際值過大，則導致爐內剩余過多堝底料，造成物料浪費，增加生產成本，如果測量值比實際值過小，則會導致單晶收尾不穩，影響成晶率。

導致生產過程中不能準確算出爐內剩料量，不能準確判斷收尾，不能準確判斷晶體軟限位是否合理，可能會導致晶體掉入堝內，不能準確確定引晶液口距，導致引放次數偏多，最終造成成晶率降低，生產成本增高的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置，解決了現有技術采用目測存在的測量值不準確的問題。

本實用新型采用的技術方案是，直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置，包括掛件和主桿，掛件和主桿固定連接，主桿上設有感應計數裝置。

本實用新型的特點還在于：

感應計數裝置包括感應器和數據顯示器，數據顯示器與主桿滑動連接，數據顯示器固定連接有感應器。

掛件包括主掛件和設置于主掛件一端的卡爪Ⅱ，主掛件的另一端固定安裝有滑動副掛件，滑動副掛件上設有卡爪Ⅰ。

主桿上設置有刻度尺。

感應器上裝有報警燈。

滑動副掛件上設有固定卡爪Ⅰ的彈簧扣。

本實用新型具有如下有益效果：

1、本實用新型在刻度尺上設置感應計數裝置，可以精確的測量出籽晶行程，準確測量出晶體長度，從而準確算出剩料量，準確判斷是否收尾，克服了目測誤差較大導致的物料浪費和收尾不穩的問題，提高了成晶率，降低了生產成本。

2、本實用新型在主掛件上設置滑動副掛件，滑動副掛件與主掛件配合可穩定固定在直拉單晶爐副室爐筒上，保證了其測量結果的準確性。

3、本實用新型感應計數裝置通過滑動塊設置在刻度尺上，便于移動，操作方便，且結構簡單、緊湊。

附圖說明

圖1為本實用新型直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置結構示意圖；

圖2為本實用新型直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置的滑動塊結構示意圖；

圖3本實用新型直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置卡掛于直拉單晶爐副室爐筒示意圖。

圖中，1.主掛件，2.卡爪Ⅰ，3.彈簧扣，4.滑動副掛件，5.緊固螺釘，6.感應器，7.數據顯示器，8.報警燈，9.刻度尺，10.卡爪Ⅱ。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。

直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置，包括掛件和主桿，掛件和主桿固定連接，主桿上設有感應計數裝置。主桿上設有刻度尺9。感應計數裝置包括感應器6、數據顯示器7和報警燈10且通過滑動塊8設置在主桿上。掛件包括主掛件1和滑動副掛件4，主掛件1一端設有卡爪Ⅱ11，滑動副掛件4設置在主掛件1的另一端，滑動副掛件4上設有卡爪Ⅰ2。刻度尺9垂直設置在主掛件1上。滑動副掛件4上設有與卡爪Ⅰ2配合的彈簧扣3，彈簧扣3調節卡爪Ⅰ2上下左右活動，最終緊固。

實施例，直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置，參照圖1、圖2，包括掛件和主桿，掛件包括主掛件1，主掛件1一端為卡爪Ⅱ11，主掛件1另一端設置有滑動副掛件4，滑動副掛件4與主掛件1之間通過緊固螺釘5緊固，滑動副掛件4上設置有卡爪Ⅰ2與彈簧扣3，彈簧扣3調節卡爪2以便適應不同大小的副室爐筒并穩定連接。主桿上貼有刻度尺9，主桿上設置有滑動塊8，主桿與滑動塊8之間通過緊固螺釘5緊固，在滑動塊上設置有數據顯示器7，感應器6與數據顯示器7固定連接，感應器6上裝有報警燈8。

滑動副掛件4可在主掛件1上滑動，根據直拉單晶爐副室大小調節卡爪Ⅰ2與卡爪Ⅱ11之間的距離，卡爪Ⅰ2與卡爪Ⅱ11配合卡掛在直拉單晶爐副室爐筒下沿的凸臺上，通過彈簧扣3調節卡爪Ⅰ2使其與單晶爐副室爐筒下沿的凸臺完全緊固，最后通過緊固螺釘5固定滑動副掛件4，卡爪Ⅰ2與彈簧扣3配合使用，使整個校準裝置穩定在直拉單晶爐副室上，不會使刻度尺9晃動，還可以適應于多種形狀及微小變形的直拉單晶爐副室。