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[實用新型]直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置有效

專利信息
申請號: 201320512798.9 申請日: 2013-08-21
公開(公告)號: CN203462164U 公開(公告)日: 2014-03-05
發明(設計)人: 張鑫;潘永娥;李強 申請(專利權)人: 寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司
主分類號: C30B15/20 分類號: C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 西安弘理專利事務所 61214 代理人: 羅笛
地址: 755100 寧夏回*** 國省代碼: 寧夏;64
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摘要:
搜索關鍵詞: 直拉法 生長 單晶硅 籽晶 行程 校準 裝置
【權利要求書】:

1.直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:包括掛件和主桿,所述掛件和主桿固定連接,所述主桿上設有感應計數裝置。

2.如權利要求1所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述感應計數裝置包括感應器(6)和數據顯示器(7),所述數據顯示器(7)與主桿滑動連接,數據顯示器(7)固定連接有感應器(6)。

3.如權利要求1或2所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述掛件包括主掛件(1)和設置于主掛件(1)一端的卡爪Ⅱ(10),所述主掛件(1)的另一端固定安裝有滑動副掛件(4),所述滑動副掛件(4)上設有卡爪Ⅰ(2)。

4.如權利要求3所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述主桿上設置有刻度尺(9)。

5.如權利要求4所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述感應器(6)上裝有報警燈(8)。

6.如權利要求5所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述滑動副掛件(4)上設有固定所述卡爪Ⅰ(2)的彈簧扣(3)。

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