[實用新型]直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置有效
申請號: | 201320512798.9 | 申請日: | 2013-08-21 |
公開(公告)號: | CN203462164U | 公開(公告)日: | 2014-03-05 |
發明(設計)人: | 張鑫;潘永娥;李強 | 申請(專利權)人: | 寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司 |
主分類號: | C30B15/20 | 分類號: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人: | 羅笛 |
地址: | 755100 寧夏回*** | 國省代碼: | 寧夏;64 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 直拉法 生長 單晶硅 籽晶 行程 校準 裝置 | ||
1.直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:包括掛件和主桿,所述掛件和主桿固定連接,所述主桿上設有感應計數裝置。
2.如權利要求1所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述感應計數裝置包括感應器(6)和數據顯示器(7),所述數據顯示器(7)與主桿滑動連接,數據顯示器(7)固定連接有感應器(6)。
3.如權利要求1或2所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述掛件包括主掛件(1)和設置于主掛件(1)一端的卡爪Ⅱ(10),所述主掛件(1)的另一端固定安裝有滑動副掛件(4),所述滑動副掛件(4)上設有卡爪Ⅰ(2)。
4.如權利要求3所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述主桿上設置有刻度尺(9)。
5.如權利要求4所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述感應器(6)上裝有報警燈(8)。
6.如權利要求5所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準裝置,其特征在于:所述滑動副掛件(4)上設有固定所述卡爪Ⅰ(2)的彈簧扣(3)。
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