[實用新型]導電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320510906.9
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN203419980U
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設計）人: 馮新偉
• 申請（專利權）人: 江蘇津通先鋒光電顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

1.一種導電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置，包括鍍膜單元，其特征是：所述鍍膜單元至少為相連的兩個，鍍膜單元包括垂直設置的冷卻水槽（1）、貼合設置在冷卻水槽（1）側(cè)面的永磁鐵（2），與永磁鐵（2）正面相對設置有銅質(zhì)的靶材基座（3），朝向永磁鐵（2）的靶材基座（3）內(nèi)表面設有與永磁鐵（2）位置對應的靶材（4），待鍍膜的導電玻璃（7）位于永磁鐵（2）與靶材（4）之間，靶材基座（3）外表面設有回旋布置的電加熱管（5），所述電加熱管（5）連接有用于控制鍍膜溫度的溫控系統(tǒng)（6）。

2.根據(jù)權利要求1所述的導電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置，其特征是：所述的鍍膜單元為依次首尾相連的三個。

3.根據(jù)權利要求2所述的導電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置，其特征是：所述的永磁鐵（2）為相距設置的兩個，所述永磁鐵（2）滑動設置在冷卻水槽（1）側(cè)面，相應地，靶材（4）數(shù)量為兩個。