[實用新型]一種真空腔室觀察窗裝置

有效

• 申請號: 201320486806.7
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN203411605U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 葛治亮;李險峰;屠友明;羅松松;錢寶鐸;高文娟
• 申請（專利權）人: 中建材光電裝備（太倉）有限公司;中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡;徐丹

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜設備，具體涉及真空鍍膜設備上的真空腔室觀察窗裝置。?

背景技術

由于真空鍍膜設備是組合式的密閉殼體結構，為了能隨時監測腔室內部的運行情況，就需要在設備上安裝觀察窗裝置。對于觀察窗裝置，密封是關鍵。?

目前，常見的現有觀察窗裝置多采用分體式結構，參見圖1，由觀察孔1、安裝支座2、觀察玻璃3、密封圈4以及固定蓋5組成，所述觀察孔1開設于真空腔室的側板6上；安裝支座2為一環形體，其內端嵌入觀察孔1的外端中，并以焊接方式固定；所述安裝支座2的外端中嵌入觀察玻璃3，且該外端為臺階狀，使觀察玻璃3擱置于臺階上；并且，為了密封，在觀察玻璃3和安裝支座2的臺階間必須設密封圈4，故安裝支座2的臺階上還要開設用于嵌置定位密封圈4的密封圈槽；固定蓋5封蓋于安裝支座2的外端，該固定蓋5與安裝支座2間以螺釘連接。?

上述現有技術，存以以下不足：?

1?、由于安裝支座2要以焊接方式固連在設備上，一方面焊接較麻煩，另一方面焊縫位置也存在泄露隱患；

2、為了定位密封圈4，安裝支座2上還要開設密封圈槽，這就提高了零件的加工要求。?????????????????????????????????????????????????????

發明內容

本實用新型目的是提供一種真空腔室觀察窗裝置，以解決現有技術需要焊接較麻煩，焊縫位置又存在泄露隱患的問題。?

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種真空腔室觀察窗裝置，包括一設于真空腔室的側板上的觀察孔、對應位于觀察孔外端側的觀察玻璃以及固定蓋；?

所述觀察玻璃覆蓋于觀察孔的外端上；

所述固定蓋具有周向一圈的朝固定蓋厚度方向延伸的蓋邊沿，使固定蓋具有一蓋內腔；所述固定蓋從外向內罩設于觀察玻璃上，使觀察玻璃位于所述蓋內腔中，固定蓋的一周蓋邊沿與觀察孔周向上的真空腔室的側板板面相對，且以螺釘將固定蓋的一周蓋邊沿與真空腔室的側板固定連接；

并且，在觀察玻璃與觀察孔間設有一密封圈結構，該密封圈結構由一O型密封圈和一卡持圈組成；所述O型密封圈墊襯于觀察玻璃與真空腔室的側板之間，且O型密封圈繞觀察孔的端口外周布置；所述卡持圈為繞O型密封圈的內周面設置的環形支撐體，卡持圈的外周面與O型密封圈接觸，而卡持圈朝觀察孔的一端嵌入觀察孔內。

?????上述技術方案中的有關內容解釋如下：?

1、上述方案中，所述“觀察孔外端”及“?所述固定蓋從外向內罩設于觀察玻璃上”中的“外”“內”方向是按真空腔室的側板的內外定義的，真空腔室的側板朝真空腔室內部的那面為內，另一面即為外。

2、上述方案中，所述“真空腔室的側板”是指圍繞構成真空腔室的壁板，從方位上看可以是真空腔室的頂面壁板、也可以是前后左右側的壁板。?

3、上述方案中，還包括一加工密封面，該加工密封面是在真空腔室的側板的外表面上加工出的繞觀察孔周向的環形密封面；所述O型密封圈和固定蓋的蓋邊沿端面與所述加工密封面相抵接觸。?

再進一步，所述加工密封面的外周形成一圈定位臺階，該定位臺階與固定蓋的蓋邊沿對應配合，使固定蓋的蓋邊沿嵌置于這一圈定位臺階中，即在裝配時先以一圈定位臺階對固定蓋的位置進行預定位，方便后續的擰螺釘連接。?

4、上述方案中，所述卡持圈的外周面上對應O型密封圈設有定位凹槽，O型密封圈置于該定位凹槽內。?

5、上述方案中，所述觀察玻璃的外側表面與固定蓋間還設墊有密封墊。?

6、上述方案中，所述卡持圈的外周面上設一面朝觀察孔側的臺階面，使卡持圈的截面呈臺階狀，其朝觀察孔的一端為小端，而反向的另一端則為大端；當卡持圈的小端嵌入觀察孔內，臺階面與觀察孔的外端口相抵配合，以限制卡持圈沿觀察孔軸向的運動。?

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：?

1、本實用新型結構新穎簡潔，觀察窗裝置與真空腔室的側板不需要焊接連接，避免了因焊縫造成的泄漏隱患，同時制造工藝得到簡化；

2、本實用新型采用O型密封圈和卡持圈組成的密封圈結構，相比現有技術以開槽來安置密封圈的方式，更簡單，零件的生產要求降低。

附圖說明

圖1為現有技術結構示意圖；?

圖2為本實用新型實施例結構示意圖。