[實用新型]一種真空腔室觀察窗裝置

有效

• 申請號: 201320486806.7
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN203411605U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 葛治亮;李險峰;屠友明;羅松松;錢寶鐸;高文娟
• 申請（專利權）人: 中建材光電裝備（太倉）有限公司;中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡;徐丹

1.一種真空腔室觀察窗裝置，包括一設于真空腔室的側板（11）上的觀察孔（12）、對應位于觀察孔（12）外端側的觀察玻璃（13）以及固定蓋（14）；其特征在于：

所述觀察玻璃（13）覆蓋于觀察孔（12）的外端上；

所述固定蓋（14）具有周向一圈的朝固定蓋（14）厚度方向延伸的蓋邊沿（15），使固定蓋（14）具有一蓋內腔；所述固定蓋（14）從外向內罩設于觀察玻璃（13）上，使觀察玻璃（13）位于所述蓋內腔中，固定蓋（14）的一周蓋邊沿（15）與觀察孔（12）周向上的真空腔室的側板（11）板面相對，且以螺釘將固定蓋（14）的一周蓋邊沿（15）與真空腔室的側板（11）固定連接；

并且，在觀察玻璃（13）與觀察孔（12）間設有一密封圈結構，該密封圈結構由一O型密封圈（16）和一卡持圈（17）組成；所述O型密封圈（16）墊襯于觀察玻璃（13）與真空腔室的側板（11）之間，且O型密封圈（16）繞觀察孔（12）的端口外周布置；所述卡持圈（17）為繞O型密封圈（16）的內周面設置的環形支撐體，卡持圈（17）的外周面與O型密封圈（16）接觸，而卡持圈（17）朝觀察孔（12）的一端嵌入觀察孔（12）內。

2.根據權利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于：還包括一加工密封面（18），該加工密封面（18）是在真空腔室的側板（11）的外表面上加工出的繞觀察孔（12）周向的環形密封面；所述O型密封圈（16）和固定蓋（14）的蓋邊沿（15）端面與所述加工密封面（18）相抵接觸。

3.根據權利要求2所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于：所述加工密封面（18）的外周形成一圈定位臺階（19），該定位臺階（19）與固定蓋（14）的蓋邊沿（15）對應配合，使固定蓋（14）的蓋邊沿（15）嵌置于這一圈定位臺階（19）中。

4.根據權利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于：所述卡持圈（17）的外周面上對應O型密封圈（16）設有定位凹槽，O型密封圈（16）置于該定位凹槽內。

5.根據權利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于：所述卡持圈（17）的外周面上設一面朝觀察孔（12）側的臺階面，使卡持圈（17）的截面呈臺階狀，其朝觀察孔（12）的一端為小端，而反向的另一端則為大端；當卡持圈（17）的小端嵌入觀察孔（12）內，臺階面與觀察孔（12）的外端口相抵配合，以限制卡持圈（17）沿觀察孔（12）軸向的運動。

6.根據權利要求1所述真空腔室觀察窗裝置，其特征在于：所述觀察玻璃（13）的外側表面與固定蓋（14）間還設墊有密封墊（20）。