[實(shí)用新型]磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320483258.2
• 申請(qǐng)日: 2013-08-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203440442U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭玉芬;丁秀芳;趙彬;莊慧顯;丁波;曹本偉;董磊;尹懷秀
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 青島環(huán)球集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/56
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/56;C23C14/35;C23C14/14
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 王連君

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后真空室，特別涉及一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室。

背景技術(shù)

磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程中，粗抽真空室每個(gè)生產(chǎn)分步驟的工序流程依次是：開(kāi)外真空鎖、進(jìn)玻璃板、關(guān)外真空鎖、抽真空、開(kāi)內(nèi)真空鎖、出玻璃板、關(guān)內(nèi)真空鎖、破真空充氣恢復(fù)大氣壓。除抽真空工序外，其他各工序所需的時(shí)間基本固定不變。因此，抽真空時(shí)間的長(zhǎng)短決定了整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的生產(chǎn)效率。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的粗抽真空室結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，粗抽真空室由左、右側(cè)壁、底板和上蓋板圍成一個(gè)密閉的整體呈矩形結(jié)構(gòu)空間，其中上蓋板為可拆卸連接，其通過(guò)左、右側(cè)壁上部的真空室上密封法蘭框連接；左、右兩端側(cè)壁分別設(shè)置有外真空鎖和內(nèi)真空鎖，真空室的下部間隔設(shè)置有若干傳動(dòng)軸。

真空室還設(shè)置有玻璃板進(jìn)出的通道，該通道只在玻璃板進(jìn)出真空室時(shí)才打開(kāi)，其他時(shí)間該通道由外真空鎖封閉。從上述真空室的結(jié)構(gòu)可以看出，由于需要安裝內(nèi)真空鎖，其內(nèi)部空間很大。生產(chǎn)過(guò)程中，粗抽真空室空間越大，則其抽真空和破真空所需的時(shí)間就較長(zhǎng)，整個(gè)工藝流程所需的時(shí)間也就越長(zhǎng)。所以，真空室空間的大小直接決定了單位時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)量和生產(chǎn)線(xiàn)的生產(chǎn)效率。

從圖1可以看出，現(xiàn)有技術(shù)中的粗抽真空室結(jié)構(gòu)形式?jīng)Q定了其內(nèi)部空間必然很大，而且，在真空室工作過(guò)程中，其無(wú)效或者無(wú)法有效利用的空間占比較大。即，現(xiàn)有技術(shù)中的粗抽真空室結(jié)構(gòu)和布置存在諸多的不合理之處，其真空室存在較多的冗余空間。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、布置合理、冗余空間小的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室。

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，在保證工藝要求的同時(shí)，盡可能減小真空室的冗余空間，以縮短抽真空和破真空所需要的時(shí)間，減少無(wú)謂的能源消耗，提高單位時(shí)間的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是，一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室，包括真空室、上蓋板、傳動(dòng)軸、外真空鎖、內(nèi)真空鎖，其中，兼作玻璃板的進(jìn)出通道的外真空鎖設(shè)置在真空室左端的側(cè)壁上，兼作真空室進(jìn)出口的內(nèi)真空鎖設(shè)置在真空室右端側(cè)壁上，上述真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度,其整體呈臺(tái)階式矩形結(jié)構(gòu)，真空室的右端的頂部設(shè)置有真空鎖維修蓋，上蓋板呈凹形，其除外周密封用方框外，中間部份整體下凹，上蓋板的下凹部分的下表面與所述真空室左側(cè)壁頂端的上密封法蘭框底面平齊，上蓋板與真空室左右側(cè)壁之間通過(guò)上述真空室上密封法蘭框連接。

上述磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室，由于其采用了左、右兩端呈臺(tái)階式的矩形結(jié)構(gòu)，其中左端高度相對(duì)較低的空間部分用于真空室的工作空間，右端高度相對(duì)較高的空間部分用于設(shè)置真空鎖維修蓋，以保證檢修人員能夠進(jìn)出真空室以便維修右端側(cè)壁上的兼作真空室進(jìn)出口的內(nèi)真空鎖。即，本實(shí)用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，其除安裝內(nèi)真空鎖的右端側(cè)壁部份的空間保持原高度外，其余部份的空間高度均降至與玻璃板通道口的上表面的高度平齊。因而，在滿(mǎn)足玻璃板能自由進(jìn)出真空室和保證檢修人員能夠進(jìn)出真空室以便維修右端側(cè)壁上的內(nèi)真空鎖的前提下，最大限度地減小了磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室的內(nèi)部空間。

作為優(yōu)選，上述真空室的底部每相鄰兩個(gè)傳動(dòng)軸之間的空間內(nèi)設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼。

該優(yōu)選技術(shù)方案中，在真空室的底部每相鄰兩個(gè)傳動(dòng)軸之間的空間內(nèi)設(shè)置有若干兩端密閉的方鋼，其中兩端封閉的方鋼僅僅只是起填充作用，從而減小真空室內(nèi)空氣可能占據(jù)的空間。上述技術(shù)方案的作用或技術(shù)效果是，最大限度地減少了真空室內(nèi)非工藝必需的冗余空間。

作為優(yōu)選，上述傳動(dòng)軸為空心管軸，其中段部分為空心管，兩個(gè)軸頭分別焊接在空心管的兩端。

由于傳動(dòng)軸通過(guò)滾動(dòng)帶動(dòng)其上面的玻璃板在水平方向進(jìn)行左或右移動(dòng)，其負(fù)荷不大，采用空心管結(jié)構(gòu)的傳動(dòng)軸可以降低設(shè)備自重，有利于減少電能消耗和節(jié)省設(shè)備制作的材料。

從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)前、后粗抽真空室的結(jié)構(gòu)直接帶來(lái)了以下技術(shù)效果：

真空室的冗余空間小，最大限度地縮短了抽真空破真空所需的時(shí)間，最大限度地減少了抽真空與破真空過(guò)程的動(dòng)力消耗量，節(jié)約了生產(chǎn)成本；并且，相應(yīng)地縮短了整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)周期，提高了單位時(shí)間的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

另一方面，本實(shí)用新型在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過(guò)簡(jiǎn)單地技術(shù)改造完成，其制作成本低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，既能滿(mǎn)足工藝使用要求，又方便維修。