[實(shí)用新型]一種PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320479837.X
• 申請(qǐng)日: 2013-08-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203405180U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳忠一
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昱鑫科技(蘇州)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/14
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/14
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及PCB板內(nèi)、外層線(xiàn)路的量測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及的是一種可提高量測(cè)精度和效率、并降低人力成本的PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀。

背景技術(shù)

PCB板內(nèi)、外層線(xiàn)路的寬度以及相鄰線(xiàn)路之間的間距，稱(chēng)為線(xiàn)寬/間距，線(xiàn)寬/間距作為PCB板的重要技術(shù)指標(biāo)，其數(shù)值范圍在逐年縮小，目前的線(xiàn)寬/間距已發(fā)展到了75μm，甚至達(dá)到了50μm，而且線(xiàn)寬/間距為50μm?/50μm的精細(xì)導(dǎo)線(xiàn)，已逐漸成為目前PCB板微細(xì)導(dǎo)線(xiàn)的主流，由此可見(jiàn)線(xiàn)寬的測(cè)量和控制在生產(chǎn)過(guò)程中也就顯得更加重要。

但是，傳統(tǒng)的放大鏡加熒光燈的線(xiàn)寬量測(cè)儀依靠的是操作人員手搖移動(dòng)坐標(biāo)臺(tái)，通過(guò)肉眼的視線(xiàn)對(duì)準(zhǔn)誤差，焦距調(diào)整過(guò)程繁瑣，對(duì)技術(shù)的熟練程度要求較高，不僅人員勞動(dòng)強(qiáng)度大、費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且還無(wú)法批量檢測(cè)，量測(cè)的精度和效率非常低。

同時(shí)，人力成本不斷上升，客戶(hù)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求越來(lái)越高，抽檢已提升為全檢，降低人力成本，提高檢測(cè)效率是市場(chǎng)的大勢(shì)所趨，傳統(tǒng)測(cè)量?jī)x器難以滿(mǎn)足要求。

因此，現(xiàn)有技術(shù)尚有待改進(jìn)和發(fā)展。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，可提高量測(cè)的精度和效率，并降低人力成本。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：一種PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，包括帶有光源的偏振干涉共焦顯微裝置、具有量測(cè)功能的工業(yè)相機(jī)、FPGA相位卡和計(jì)算機(jī)，所述工業(yè)相機(jī)用于捕捉所述偏振干涉共焦顯微裝置產(chǎn)生的測(cè)量信號(hào)并傳送至所述FPGA相位卡，所述FPGA相位卡用于對(duì)所述測(cè)量信號(hào)進(jìn)行相位測(cè)量，將含有PCB板內(nèi)層或外層線(xiàn)路中待測(cè)線(xiàn)條臺(tái)階邊緣位置信息的相位變化數(shù)據(jù)傳送至所述計(jì)算機(jī)。

所述的PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，其中：所述偏振干涉共焦顯微裝置包括橫向塞曼激光器、分束器、第一探測(cè)器、第一透鏡、第一針孔、第二透鏡、反射棱鏡、顯微物鏡、半透半反鏡、檢偏器、聚光透鏡、第三探測(cè)器、第三透鏡、第二針孔和第二探測(cè)器；其中，所述橫向塞曼激光器作為光源發(fā)出的一對(duì)正交線(xiàn)偏振光，通過(guò)所述分束器后分成反射光和透射光，反射光進(jìn)入所述第一探測(cè)器作為參考信號(hào)，透射光經(jīng)過(guò)所述第一透鏡匯聚到所述第一針孔上，并通過(guò)所述第二透鏡變成平行光束，平行光束經(jīng)所述反射棱鏡反射后經(jīng)所述顯微物鏡被聚焦在所述PCB板上，被聚焦后的光線(xiàn)被所述PCB板反射后再次經(jīng)所述顯微物鏡變回平行光，并被所述半透半反鏡分成兩部分：透射部分通過(guò)所述反射棱鏡在所述檢偏器上發(fā)生干涉，干涉光經(jīng)所述聚光透鏡聚焦后進(jìn)入所述第三探測(cè)器產(chǎn)生測(cè)量信號(hào)，通過(guò)與所述第一探測(cè)器產(chǎn)生的參考信號(hào)進(jìn)行比相位測(cè)量，得到臺(tái)階邊緣相位變化信息；反射部分由所述第三透鏡匯聚到所述第二針孔上，由所述第二探測(cè)器接收得到光強(qiáng)信號(hào)。

所述的PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，其中：所述橫向塞曼激光器為低頻差橫向塞曼He-Ne激光器。

所述的PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，其中：所述反射棱鏡為半孔徑反射棱鏡。

所述的PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，其中：所述第二探測(cè)器產(chǎn)生的光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)由一鎖相放大器放大后傳送至所述計(jì)算機(jī)。

本實(shí)用新型所提供的一種PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀，由于采用了偏振干涉共焦顯微裝置，利用不同偏振方向(平行和垂直臺(tái)階邊緣)的線(xiàn)偏振光照射到臺(tái)階邊緣反射后產(chǎn)生的相位變化特性，對(duì)PCB板內(nèi)層或外層線(xiàn)路的線(xiàn)條邊緣進(jìn)行定位，其精度可達(dá)0.1°，設(shè)置十字線(xiàn)也非常簡(jiǎn)單快捷，由此提高了對(duì)PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路線(xiàn)寬線(xiàn)距量測(cè)的精度和效率，在降低系統(tǒng)成本的同時(shí)也降低了人力成本。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀的工作原理結(jié)構(gòu)框圖。

圖2是本實(shí)用新型PCB板內(nèi)外層線(xiàn)路量測(cè)儀所用偏振干涉共焦顯微系統(tǒng)的光路原理圖。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式和實(shí)施例加以詳細(xì)說(shuō)明，所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。

進(jìn)行線(xiàn)寬測(cè)量其核心的內(nèi)容是對(duì)線(xiàn)寬邊緣進(jìn)行準(zhǔn)確的定位及量測(cè)，邊界定位量測(cè)構(gòu)成了用光學(xué)測(cè)微法測(cè)量線(xiàn)寬的基本任務(wù)