[實(shí)用新型]一種PCB板內(nèi)外層線路量測(cè)儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320479837.X
• 申請(qǐng)日: 2013-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN203405180U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳忠一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昱鑫科技(蘇州)有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/14
• 分類號(hào): G01B11/14
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

1.一種PCB板內(nèi)外層線路量測(cè)儀，其特征在于，包括帶有光源的偏振干涉共焦顯微裝置、具有量測(cè)功能的工業(yè)相機(jī)、FPGA相位卡和計(jì)算機(jī)，所述工業(yè)相機(jī)用于捕捉所述偏振干涉共焦顯微裝置產(chǎn)生的測(cè)量信號(hào)并傳送至所述FPGA相位卡，所述FPGA相位卡用于對(duì)所述測(cè)量信號(hào)進(jìn)行相位測(cè)量，將含有PCB板內(nèi)層或外層線路中待測(cè)線條臺(tái)階邊緣位置信息的相位變化數(shù)據(jù)傳送至所述計(jì)算機(jī)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PCB板內(nèi)外層線路量測(cè)儀，其特征在于：所述偏振干涉共焦顯微裝置包括橫向塞曼激光器、分束器、第一探測(cè)器、第一透鏡、第一針孔、第二透鏡、反射棱鏡、顯微物鏡、半透半反鏡、檢偏器、聚光透鏡、第三探測(cè)器、第三透鏡、第二針孔和第二探測(cè)器；其中，所述橫向塞曼激光器作為光源發(fā)出的一對(duì)正交線偏振光，通過所述分束器后分成反射光和透射光，反射光進(jìn)入所述第一探測(cè)器作為參考信號(hào)，透射光經(jīng)過所述第一透鏡匯聚到所述第一針孔上，并通過所述第二透鏡變成平行光束，平行光束經(jīng)所述反射棱鏡反射后經(jīng)所述顯微物鏡被聚焦在所述PCB板上，被聚焦后的光線被所述PCB板反射后再次經(jīng)所述顯微物鏡變回平行光，并被所述半透半反鏡分成兩部分：透射部分通過所述反射棱鏡在所述檢偏器上發(fā)生干涉，干涉光經(jīng)所述聚光透鏡聚焦后進(jìn)入所述第三探測(cè)器產(chǎn)生測(cè)量信號(hào)，通過與所述第一探測(cè)器產(chǎn)生的參考信號(hào)進(jìn)行比相位測(cè)量，得到臺(tái)階邊緣相位變化信息；反射部分由所述第三透鏡匯聚到所述第二針孔上，由所述第二探測(cè)器接收得到光強(qiáng)信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PCB板內(nèi)外層線路量測(cè)儀，其特征在于：所述橫向塞曼激光器為低頻差橫向塞曼He-Ne激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PCB板內(nèi)外層線路量測(cè)儀，其特征在于：所述反射棱鏡為半孔徑反射棱鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PCB板內(nèi)外層線路量測(cè)儀，其特征在于：所述第二探測(cè)器產(chǎn)生的光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)由一鎖相放大器放大后傳送至所述計(jì)算機(jī)。