[實(shí)用新型]顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320477099.5
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN203433267U
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁小朝;黃源;尹云艦;李喬華;倪蕓嵐
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 33241
• 代理人: 王利強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種光刻膠樹脂回收再利用裝置。

背景技術(shù)

光刻工藝是面板（FDP）和半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)等需要電子行業(yè)的核心生產(chǎn)工藝。在光刻過程中光刻膠又是其中的核心材料。光刻膠一般由基礎(chǔ)樹脂，感光劑等組成，其中基礎(chǔ)樹脂的生產(chǎn)合格光刻膠的關(guān)鍵，關(guān)系到光刻圖案的精密性，要求樹脂分子量分布小，平均分子量可控，同時(shí)因?yàn)橛糜诟呔艿碾娮由a(chǎn)行業(yè)因此也要求純度高，單個(gè)金屬含量和陰離子含量低。因此樹脂的成本占光刻膠總成本一半以上。

在光刻工藝中，一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—?jiǎng)冸x。因此很大一部分光刻膠在顯影過程中溶于廢液。目前有許多專利報(bào)道對顯影液廢液進(jìn)行回收再利用，在這些專利中主要是提出回收四甲基氫氧化銨的方法，目前還未有報(bào)道過程顯影液中回收再利用樹脂，通常按照固廢物處理，如此處理成本高，還有二次污染的可能。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服已有光刻膠樹脂處理方式的成本高、環(huán)保性較差的不足,本實(shí)用新型提供了一種降低成本、環(huán)保性良好的顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置，所述回收再利用裝置包括廢液槽、第一過濾裝置、溶解槽、第二過濾裝置、陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂和濃縮裝置，所述廢液槽包括沉淀劑進(jìn)口和顯影液廢液進(jìn)口，所述廢液槽的出口通過連接管與第一過濾裝置的進(jìn)口連接，所述第一過濾裝置的上部出口與所述溶解槽的第一進(jìn)口連通，所述第一過濾裝置的下部出口為TMAH廢液出口，所述溶解槽的第二進(jìn)口為溶劑進(jìn)口，所述溶解槽的出口與所述第二過濾裝置的進(jìn)口連通，所述第二過濾裝置的上部出口為殘?jiān)隹冢龅诙^濾裝置的下部出口與所述陽離子交換樹脂的入口連通，所述陽離子交換樹脂的出口與所述陰離子交換樹脂的入口連通，所述陰離子交換樹脂的出口與與所述濃縮裝置的入口連通，所述濃縮裝置包括光刻膠樹脂出口和溶劑出口。

進(jìn)一步，所述濃縮裝置的溶劑出口與所述溶劑儲槽連通，所述溶劑儲槽與所述溶解槽的第二進(jìn)口連通。

再進(jìn)一步，所述連接管上安裝泵。

本實(shí)用新型的有益效果主要表現(xiàn)在：在回收四甲基氫氧化銨的同時(shí)又可以回收光刻膠樹脂。而且結(jié)構(gòu)簡單，可連續(xù)生產(chǎn)，能耗低，節(jié)約成本，減低水耗，易于推廣實(shí)用。

附圖說明

圖1是顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。

參照圖1，一種顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置，所述回收再利用裝置包括廢液槽1、第一過濾裝置2、溶解槽3、第二過濾裝置5、陽離子交換樹脂6、陰離子交換樹脂7和濃縮裝置8，所述廢液槽1包括沉淀劑進(jìn)口和顯影液廢液進(jìn)口，所述廢液槽1的出口通過連接管與第一過濾裝置2的進(jìn)口連接，所述第一過濾裝置2的上部出口與所述溶解槽3的第一進(jìn)口連通，所述第一過濾裝置2的下部出口為TMAH廢液出口，所述溶解槽3的第二進(jìn)口為溶劑進(jìn)口，所述溶解槽3的出口與所述第二過濾裝置5的進(jìn)口連通，所述第二過濾裝置5的上部出口為殘?jiān)隹冢龅诙^濾裝置5的下部出口與所述陽離子交換樹脂6的入口連通，所述陽離子交換樹脂6的出口與所述陰離子交換樹脂7的入口連通，所述陰離子交換樹脂7的出口與與所述濃縮裝置8的入口連通，所述濃縮裝置8包括光刻膠樹脂出口和溶劑出口。

進(jìn)一步，所述濃縮裝置8的溶劑出口與所述溶劑儲槽4連通，所述溶劑儲槽4與所述溶解槽3的第二進(jìn)口連通。再進(jìn)一步，所述連接管上安裝泵9。

本實(shí)施例中，廢液1槽，用于存儲廢液，加入沉淀劑沉淀，沉淀劑可以選擇各類酸如硫酸，鹽酸，也可以選擇二氧化碳。

第一過濾裝置2，將儲液槽中的溶液固液分離，液體部分可以進(jìn)行四甲基氫氧化銨回收，所得固體為光刻膠樹脂初產(chǎn)品。

溶解槽3，將所得光刻膠樹脂初產(chǎn)品用有機(jī)良溶劑溶解形成均一相；

第二過濾裝置5，去除未溶解的固體

陰陽離子交換樹脂6、7：將過濾的溶液通過陽離子交換樹脂6去除金屬離子雜質(zhì)，通過陰離子交換樹脂7除去陰離子樹脂。

濃縮裝置8：經(jīng)過陰陽離子交換樹脂的溶液進(jìn)入濃縮裝置，回收溶劑，同時(shí)得到光刻膠樹脂。

所述第一過濾裝置2和第二過濾裝置5中，濾芯位于過濾裝置的中部，過濾裝置的上部出口為固體出口，過濾裝置的下部出口為液體出口。

如圖1所示，廢液槽1接收存儲四甲基氫氧化銨廢液，其中加入酸等沉淀劑使光刻膠樹脂沉淀，通過過濾裝置2實(shí)現(xiàn)固液分離，所得溶液可進(jìn)行四甲基氫氧化銨回收，固體為光刻膠樹脂初產(chǎn)物。初產(chǎn)物在溶解槽3內(nèi)通過加入溶劑儲槽4中的溶劑，溶解。溶液通過第二過濾裝置5去除不溶物，濾液依次通過陽離子交換樹脂塔和陰離子交換樹脂塔，去除金屬離子雜質(zhì)。最后溶液進(jìn)入濃縮裝置，回收溶劑，存于溶劑儲槽4，同時(shí)得到純凈的光刻膠樹脂。