[實用新型]顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置有效
| 申請號： | 201320477099.5 | 申請日： | 2013-08-06 |
| 公開（公告）號： | CN203433267U | 公開（公告）日： | 2014-02-12 |
| 發明（設計）人： | 梁小朝;黃源;尹云艦;李喬華;倪蕓嵐 | 申請（專利權）人： | 杭州格林達化學有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241 | 代理人： | 王利強 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市蕭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影液 光刻 樹脂 回收 再利用 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置，其特征在于：所述回收再利用裝置包括廢液槽、第一過濾裝置、溶解槽、第二過濾裝置、陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂和濃縮裝置，所述廢液槽包括沉淀劑進口和顯影液廢液進口，所述廢液槽的出口通過連接管與第一過濾裝置的進口連接，所述第一過濾裝置的上部出口與所述溶解槽的第一進口連通，所述第一過濾裝置的下部出口為TMAH廢液出口，所述溶解槽的第二進口為溶劑進口，所述溶解槽的出口與所述第二過濾裝置的進口連通，所述第二過濾裝置的上部出口為殘渣出口，所述第二過濾裝置的下部出口與所述陽離子交換樹脂的入口連通，所述陽離子交換樹脂的出口與所述陰離子交換樹脂的入口連通，所述陰離子交換樹脂的出口與與所述濃縮裝置的入口連通，所述濃縮裝置包括光刻膠樹脂出口和溶劑出口。
2.如權利要求1所述的顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置，其特征在于：所述濃縮裝置的溶劑出口與所述溶劑儲槽連通，所述溶劑儲槽與所述溶解槽的第二進口連通。
3.如權利要求1或2所述的顯影液中光刻膠樹脂回收再利用裝置，其特征在于：所述連接管上安裝泵。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于杭州格林達化學有限公司，未經杭州格林達化學有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320477099.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
