[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201320445956.3
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN203368754U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 李欣亮;王順;劉瑞寶
• 申請（專利權）人: 歌爾聲學股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 濰坊正信專利事務所 37216
• 代理人: 王秀芝

1.MEMS麥克風，包括底板以及設置于所述底板上的MEMS芯片，所述底板的邊緣部位罩設有外殼，所述MEMS芯片位于所述底板與所述外殼圍成的空腔內，所述底板上對應所述MEMS芯片內腔的位置設有聲孔;其特征在于，所述外殼頂部的外側設有用于電連接所述MEMS麥克風與終端產品的焊盤，所述MEMS芯片與所述焊盤之間通過設置在所述外殼與所述底板之間的彈簧電連接，所述彈簧的一端固定于所述底板設有所述MEMS芯片的一側，所述彈簧的另一端固定于所述外殼頂部的內側。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述外殼包括頂板以及設置在所述頂板邊緣部位的環狀側壁，所述環狀側壁的端部與所述底板相結合；所述焊盤設置于所述頂板的外側；所述彈簧的另一端固定于所述頂板的內側。

3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述彈簧的一端固定有一個金屬片，所述金屬片固定于所述頂板或所述底板上。

4.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述彈簧的兩端均固定有一個金屬片，位于所述彈簧兩端的所述金屬片分別固定于所述頂板和所述底板上。

5.根據權利要求2至3任一項所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述底板為PCB。

6.根據權利要求5所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述頂板為PCB。