[實用新型]MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201320444614.X | 申請日： | 2013-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN203368751U | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 李欣亮;王順;劉瑞寶 | 申請（專利權）人： | 歌爾聲學股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 濰坊正信專利事務所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261031 山東省濰*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 麥克風 | ||
【權利要求書】：
1.MEMS麥克風，包括底板以及扣設在所述底板上的MEMS芯片，所述底板設有所述MEMS芯片的一側罩設有外殼，所述底板上對應所述MEMS芯片內腔的位置設有聲孔；其特征在于，所述外殼頂部的外側設有第一電路板，所述第一電路板遠離所述外殼的一側設有用于電連接所述MEMS麥克風與終端產品的焊盤；所述外殼的頂部設有開孔，所述外殼內設有電連接件，所述電連接件穿過所述開孔電連接所述底板與所述第一電路板。
2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述電連接件與所述外殼之間留有用于連通所述電連接件兩側后聲腔的空隙。
3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述電連接件上設有用于連通所述電連接件兩側后聲腔的通孔。
4.根據權利要求2或3所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述電連接件為第二電路板，所述第二電路板的兩端分別與所述底板和所述第一電路板電連接。
5.根據權利要求2或3所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述電連接件為所述底板向所述第一電路板伸出的第一延伸部，所述第一延伸部的端部與所述第一電路板電連接。
6.根據權利要求2或3所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述電連接件為所述第一電路板向所述底板伸出的第二延伸部，所述第二延伸部的端部與所述底板電連接。
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