[實用新型]磁流體密封件真空度檢測系統

有效

• 申請號: 201320430671.2
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN203443756U
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 余雀林;趙張云;楊陽
• 申請（專利權）人: 江蘇海納磁性納米新材料科技有限公司
• 主分類號: G01M3/34
• 分類號: G01M3/34
• 代理公司: 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙) 11316
• 代理人: 滑春生

1.磁流體密封件真空度檢測系統，其特征在于，包括:真空腔、與所述真空腔連接的前級泵、分子泵、真空計及與所述真空計連接的真空計顯示器，所述真空腔底部固定在工作臺上；所述前級泵、分子泵與所述真空腔連接處設有真空閥門。

2.根據權利要求1所述的磁流體密封件真空度檢測系統，其特征在于，所述真空腔頂部為法蘭盤，所述磁流體密封件連接于所述法蘭盤，所述真空腔與磁流體密封件之間通過橡膠“O”型圈形成平面靜密封，磁流體密封件真空端朝向所述真空腔腔體。

3.根據權利要求2所述的磁流體密封件真空度檢測系統，其特征在于，所述前級泵與所述分子泵各自與所述真空腔連接，形成獨立的抽吸真空通道。

4.根據權利要求1至3中任一所述的磁流體密封件真空度檢測系統，其特征在于，所述前級泵和所述分子泵與所述真空腔之間均設有真空閥門，在給真空系統放氣即破除真空的過程中，關閉所述分子泵與所述真空腔之間的真空閥門，以避免所述分子泵的葉片被突然進入的大量空氣打壞。

5.根據權利要求4所述的磁流體密封件真空度檢測系統，其特征在于，所述真空計與所述真空腔腔體連接，所述真空計測得，通過所述真空計顯示器顯示的真空度數值即為磁流體密封件的極限耐真空度。