[實用新型]磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320430671.2
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN203443756U
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 余雀林;趙張云;楊陽
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇海納磁性納米新材料科技有限公司
• 主分類號: G01M3/34
• 分類號: G01M3/34
• 代理公司: 北京一格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11316
• 代理人: 滑春生

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種磁流體密封件真空度的檢測裝置，尤其涉及真空度要求高時的磁流體密封件極限耐真空度檢測的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

磁流體密封件的使用領(lǐng)域通常是真空密封行業(yè)，一些工況下，對真空度的要求較為嚴(yán)格，真空度較高。在目前的磁流體密封件領(lǐng)域，普遍的檢測項目是采用氦質(zhì)譜檢漏儀進行的密封件泄露檢測，其精度可達(dá)到1×10-10Pa·m3/sec。氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備中含有分子泵及前級泵，在檢漏之前會對真空腔預(yù)抽一定的真空度，一般使用氦質(zhì)譜檢漏儀最多將真空腔抽到1×10-3Pa的真空度，對于真空度要求不高的場合。

而對于真空度要求較高的場合，如真空度達(dá)到1×10-6Pa，使用氦質(zhì)譜檢漏儀就無法滿足對磁流體密封件極限耐真空度的檢測需求，更加無法測量出磁流體密封件在高真空工況下的漏率。

分子泵的使用情況有一定的限制，破除真空的過程中，若未等分子泵的葉片完全停下就將大氣經(jīng)由分子泵進入大氣，極有可能將分子泵的葉片打壞。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有檢測方案的局限性，本實用新型的目的在于提供一種能夠較快實現(xiàn)磁流體密封件產(chǎn)品真空度檢測，適用于實驗室或者磁流體密封件生產(chǎn)線使用的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)。

本實用新型提供的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)包括：真空腔、與真空腔連接的前級泵、分子泵、真空計及與真空計連接的真空計顯示器，真空腔底部固定在工作臺上；前級泵、分子泵與真空腔連接處設(shè)有真空閥門。

在一些實施方式中，真空腔頂部為法蘭盤，磁流體密封件連接于法蘭盤，真空腔與磁流體密封件之間通過橡膠“O”型圈形成平面靜密封，磁流體密封件真空端朝向真空腔腔體。

在一些實施方式中，前級泵與分子泵各自與真空腔連接，形成獨立的抽吸真空通道。

在一些實施方式中，前級泵和分子泵與真空腔之間均設(shè)有真空閥門，在給真空系統(tǒng)放氣即破除真空的過程中，關(guān)閉分子泵與真空腔之間的真空閥門，以避免分子泵的葉片被突然進入的大量空氣打壞。

在一些實施方式中，真空計與真空腔腔體連接，真空計測得，通過真空計顯示器顯示的真空度數(shù)值即為磁流體密封件的極限耐真空度。

本實用新型的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點：

1.本實用新型的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)，在反復(fù)抽真空與破除真空的過程中，較好的省去了破真空時等待分子泵葉片停止的時間，同時，避免分子泵的葉片被突然進入的大量空氣打壞。

2.?本實用新型的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)，裝置的結(jié)構(gòu)較為簡單，僅通過開關(guān)閥門就可以達(dá)到反復(fù)檢測的效果，檢測結(jié)果準(zhǔn)確，效率高。

3.?本實用新型的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)，磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)放氣迅速，取放工件方便，操作簡單。

本實用新型的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)，更好的保證了磁流體密封件在極限耐真空度這一指標(biāo)的檢測精度，簡單的連接和操作方法使系統(tǒng)能夠較好的運用在磁流體密封件的產(chǎn)線上。更加有利于從行業(yè)的角度規(guī)肅磁流體密封件耐真空度這一指標(biāo)，使磁流體密封件的真空度指標(biāo)檢測做到有跡可循。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施方式的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及具體實施例來對本實用新型作進一步的詳細(xì)描述說明。

圖1示意性地顯示了根據(jù)本實用新型一種實施方式的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)。

如圖所示，本實用新型的磁流體密封件真空度檢測系統(tǒng)，包括分子泵1，前級泵2，真空計3，真空腔4，第一真空閥門5，第二真空閥門6及及真空計顯示器。真空腔4底部固定于工作臺上。

真空腔4頂部設(shè)有法蘭盤7，磁流體密封件通過橡膠“O”型圈的端面密封擺放在真空腔4頂部的法蘭盤7面上，磁流體密封件真空端面與法蘭盤7面接觸，真空腔4與磁流體密封件之間通過橡膠“O”型圈形成平面靜密封。

分子泵1、前級泵2均真空腔4連接，且屬于并聯(lián)連接方式。前級泵2和分子泵1與真空腔4之間均設(shè)有真空閥門，前級泵2與真空腔4之間的為第二真空閥門6，分子泵1與真空腔4之間的為第一真空閥門5。

裝置抽真空時，首先關(guān)閉第一真空閥門5，打開第二真空閥門6，啟動前級泵2，開始抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到分子泵1工作的最低真空度值時，啟動分子泵1，打開第一真空閥門5，抽高真空。破除真空時，首先關(guān)閉第一真空閥門5，接著關(guān)閉分子泵1，保持第二真空閥門6打開，關(guān)閉前級泵2，空氣可由前級泵2的連接管道通入真空腔4中。