[實用新型]一種二流體噴管組件以及運用此組件的二流體蝕刻裝置有效
| 申請號： | 201320425911.X | 申請日： | 2013-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN203355935U | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 陳德和 | 申請（專利權）人： | 宇宙電路板設備（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | B05B7/04 | 分類號： | B05B7/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 44237 | 代理人： | 張全文 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍崗區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 流體 噴管 組件 以及 運用 蝕刻 裝置 | ||
1.一種二流體噴管組件，其特征在于，包括用于輸送壓縮空氣的進氣管，以及用于輸送藥液且與所述進氣管并列設置的噴管，所述噴管上間隔設有多個用于混合所述壓縮空氣和所述藥液形成二流體并噴射的噴嘴，所述噴嘴與所述進氣管通過導氣管連通。?
2.如權利要求1所述的二流體噴管組件，其特征在于，所述噴嘴包括中空的本體，以及設置在所述本體一端的噴頭，所述本體的另一端設有與所述導氣管連通的進氣口，所述本體的一側設有與所述噴管連通的進液口，所述噴頭上設有噴淋口。?
3.如權利要求2所述的二流體噴管組件，其特征在于，所述本體內設有混合通槽，所述混合通槽的兩端分別與所述進氣口和噴淋口連通，所述混合通槽的側向與所述進液口連通。?
4.如權利要求1所述的二流體噴管組件，其特征在于，所述進氣管的外壁伸出有連通的探頭，所述探頭通過轉接件與所述導氣管的一端連通，所述導氣管的另一端通過所述轉接件與所述噴嘴的進氣口連通。?
5.如權利要求4所述的二流體噴管組件，其特征在于，所述轉接件包括中空的直角轉接頭，以及設于所述直角轉接頭外端的套蓋。?
6.一種二流體蝕刻裝置，其特征在于，包括機身，設于所述機身上部的用于傳送基片的輸送滾輪，與被傳送基片對應設置的如權利要求1至5任一項所述的二流體噴管組件，以及連通所述噴管組件的供應組件。?
7.如權利要求6所述的二流體蝕刻裝置，其特征在于，所述輸送滾輪的上側、下側或者上下側設有所述二流體噴管組件。?
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