[實用新型]一種硅片生產中用于取片的機械手有效

申請號：	201320423788.8	申請日：	2013-07-16
公開（公告）號：	CN203398091U	公開（公告）日：	2014-01-15
發明（設計）人：	高奎;李建朋;鄭志勇;石亞芬;張繼偉	申請（專利權）人：	天津英利新能源有限公司
主分類號：	H01L21/677	分類號：	H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18
代理公司：	北京集佳知識產權代理有限公司 11227	代理人：	魏曉波
地址：	301510 天津市濱海新區津漢公***	國省代碼：	天津;12
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種硅片生產用于機械手
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【權利要求書】：

1.一種硅片生產中用于取片的機械手，包括機械臂（1）、吸盤（11）及二者的控制器（2），所述機械臂（1）端部設置所述吸盤（11），所述控制器（2）能夠改變所述機械臂（1）的位置并控制所述吸盤（11）工作，其特征在于，還包括溫度傳感器（3），所述溫度傳感器（3）設置在所述機械手上，并將檢測的溫度信號傳遞給所述控制器（2）。?

2.如權利要求1所述的硅片生產中用于取片的機械手，其特征在于，所述溫度傳感器（3）設置在所述吸盤（11）上。?

3.如權利要求2所述的硅片生產中用于取片的機械手，其特征在于，所述控制器（2）為可編程序控制器。?

4.如權利要求3所述的硅片生產中用于取片的機械手，其特征在于，還包括信號燈。?

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