[實用新型]基板傳送裝置

有效

• 申請號: 201320422576.8
• 申請日: 2013-07-16
• 公開（公告）號: CN203386735U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 楊智強
• 申請（專利權）人: 威至科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 黃超;周春發

技術領域

本實用新型有關一種基板傳送裝置，尤指一種可快速傳送基板，具有提高產能功效的基板傳送裝置。

背景技術

按，在各種加工作業的流程中，加工對象的運送是最重要也最繁瑣的步驟，利用輸送帶或機械手臂等，將加工對象移送至各個加工作業區中，進行不同的加工作業，以將加工對象制造為成品后，完成加工作業的流程。

一般運送裝置中，包括有至少一滑軌以及一機械手臂。該機械手臂設置于一滑軌上，且具有X與Y方向的自由度。其中該機械手臂可自一上游設備擷取一基板，并將其傳送至一加工設備的工作區進行加工，待加工后，再由機械手臂將其載出，并送至下游設備進行下一階段的制程，最后，再由該機械手臂至上游設備取一新基板加載工作區，進行加工。

如前述的運作模式，可以了解在該機械手臂將完成加工的基板載出時，新基板必須在工作區等待，如此一來，在更換過程的等待時間就造成了時間上的浪費，進而影響產量。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題即在提供一種基板傳送裝置，尤指一種可快速傳送基板，具有提高產能功效的基板傳送裝置。

本實用新型所采用的技術手段如下所述。

為達上揭目的，本實用新型的基板傳送裝置至少包含有：入料區、出料區、加工區、第一軌道、第二軌道、第一搬動模組以及第二搬動模組，該加工區位于該入料區及出料區的間，該第一軌道位于該入料區及該加工區上方，且橫跨于該入料區及該加工區之間，該第二軌道位于該出料區及該加工區上方，且橫跨于該出料區及該加工區之間，該第一搬動模組裝設于該第一軌道處，用以將位于入料區的基板傳送至該加工區，該第二搬動模組裝設于該第二軌道處，用以將位于加工區的基板傳送至該出料區，以達到快速傳送具有提高產能的功效。

為達上述目的，所述第一搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第一軌道形成橫向移動。

為達上述目的，所述第二搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第二軌道形成橫向移動。

上述的抓取件具有一基座以及位于該基座一側的復數吸嘴。

為達上述目的，所述上/下驅動件具有一動力件以及與該動力件連接的伸縮桿，該伸縮桿與該抓取件的基座連接。

本實用新型所產生的有益效果如下：可快速傳送基板，具有提高產能功效。

附圖說明

圖1為本實用新型中基板傳送裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型中第一搬動模組的動作示意圖。

圖3為本實用新型中第一、第二搬動模組同時橫向移動的動作示意圖。

圖4為本實用新型中第一、第二搬動模組同時上下移動的動作示意圖。

圖5為本實用新型中第一、第二搬動模組同時橫向移動的另一動作示意圖。

圖號說明：

基板傳送裝置1

入料區10

出料區20

加工區30

第一軌道40

第二軌道50

第一搬動模組60

抓取件61

基座611

吸嘴612

上/下驅動件62

動力件621

伸縮桿622

橫向驅動件63

第二搬動模組70

抓取件71

基座711

吸嘴712

上/下驅動件72

動力件721

伸縮桿722

橫向驅動件73

基板80。

具體實施方式

如圖1為本實用新型基板傳送裝置的結構示意圖所示，本實用新型的基板傳送裝置1至少包含有：入料區10、出料區20、加工區30、第一軌道40、第二軌道50、第一搬動模組60以及第二搬動模組70。

如圖所示的實施例中，該加工區30位于該入料區10及出料區20之間；該第一軌道40位于該入料區10及該加工區30上方，且橫跨于該入料區10及該加工區30之間；該第二軌道50位于該出料區20及該加工區30上方，且橫跨于該出料區20及該加工區30之間。