[實用新型]基板傳送裝置

有效

• 申請號: 201320422576.8
• 申請日: 2013-07-16
• 公開（公告）號: CN203386735U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 楊智強
• 申請（專利權）人: 威至科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 黃超;周春發

1.一種基板傳送裝置，其特征在于，至少包含有：

入料區；

出料區；

加工區，位于該入料區及出料區之間；

第一軌道，位于該入料區及該加工區上方，且橫跨于該入料區及該加工區之間；

第二軌道，位于該出料區及該加工區上方，且橫跨于該出料區及該加工區之間；

第一搬動模組，裝設于該第一軌道處，用以將位于入料區的基板傳送至該加工區；以及

第二搬動模組，裝設于該第二軌道處，用以將位于加工區的基板傳送至該出料區。

2.如權利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，該第一搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第一軌道形成橫向移動。

3.如權利要求1或2所述的基板傳送裝置，其特征在于，該第二搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第二軌道形成橫向移動。

4.如權利要求3所述的基板傳送裝置，其特征在于，該抓取件具有一基座以及位于該基座一側的復數吸嘴。

5.如權利要求3所述的基板傳送裝置，其特征在于，該上/下驅動件具有一動力件以及與該動力件連接的伸縮桿，該伸縮桿與該抓取件的基座連接。