[實(shí)用新型]一種磁控濺射夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320420664.4
• 申請(qǐng)日: 2013-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN203333754U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵傳兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東禹城漢能光伏有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 37218
• 代理人: 李桂存

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及磁控濺射制備非晶Si薄膜電池電極技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種磁控濺射夾具。

背景技術(shù)

在太陽(yáng)能電池中，薄膜電池具有更強(qiáng)的弱光效應(yīng)、更優(yōu)異的高溫性能、更佳的視覺(jué)效果及易于大規(guī)模連續(xù)化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在光伏建筑一體化（BIPV）建筑中具有廣闊的發(fā)展前景。對(duì)于Si基薄膜電池來(lái)說(shuō)，受光面的潔凈程度，不僅影響薄膜電池的轉(zhuǎn)化率，也影響電池的外觀。Si基薄膜電池背電極利用磁控濺射技術(shù)（magnetron?sputtering，簡(jiǎn)稱PVD）制備，背電極材料多為ZnO/Al或ZnO/Ag/NiCr/Al等，背電極收集Si層光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的電荷，將電流導(dǎo)出。

在現(xiàn)有的背電極制備過(guò)程中，多采用傳送導(dǎo)輪將電池送入PVD腔室沉積成膜，在連續(xù)生產(chǎn)過(guò)程中，傳送導(dǎo)輪表面也沉積了背電極材料，使其表面受到污染，PVD成膜需要在真空條件下沉積，導(dǎo)輪印表面的臟污不易清理，從而使電池受光面產(chǎn)生傳送導(dǎo)輪印，這不僅會(huì)影響激光三刻劃效果，降低電池功率，也影響電池外觀。由于背電極材料在真空條件下制備，電池在腔室內(nèi)破碎會(huì)導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)，直接影響產(chǎn)能。

另外，采用ZnO/Ag/NiCr/Al作為背電極材料時(shí)，由于Ag的活性較高，Ag繞鍍到電池的受光面，直接影響到激光四的掃邊。因此在背電極制備過(guò)程中，受光面的潔凈程度直接影響到薄膜電池的良率。此外，為了達(dá)到電池邊緣掃邊的絕緣性，在PVD前采用高溫膠帶黏貼在電池的短邊兩端，經(jīng)過(guò)PVD后撕掉膠帶，保證激光四掃邊的絕緣性，此工序增加了PVD生產(chǎn)的人力成本。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種磁控濺射夾具，該磁控濺射夾具不僅可以避免傳送導(dǎo)輪印和Ag繞鍍的發(fā)生，也省略PVD成膜前粘貼高溫膠帶的工序，從而提高薄膜電池的良率。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本一種磁控濺射夾具，包括用于放置薄膜電池的中空框架，中空框架為前后兩端貫通、上框架中間部分敞口的中空長(zhǎng)方體框架；左、右兩邊上框架下均固定有彈簧Ⅰ，彈簧Ⅰ下連接薄鐵片，薄鐵片的前、后段分別開有?U形豁口，U形豁口下均設(shè)有用于與U形豁口連接或斷開的可左右往返運(yùn)動(dòng)的直角楔口，直角楔口設(shè)置在下框架的上表面，下框架左、右兩端上均設(shè)有電磁感應(yīng)線圈，電磁感應(yīng)線圈與外電路連接，薄鐵片下和電磁感應(yīng)線圈上均附著耐高溫薄橡膠片。

如此設(shè)計(jì)，通過(guò)加入上述磁控濺射夾具不僅可以避免傳送導(dǎo)輪印和Ag繞鍍的發(fā)生，也省略PVD成膜前粘貼高溫膠帶的工序，從而提高薄膜電池的良率。

作為優(yōu)化，中空長(zhǎng)方體框架采用表面光滑的不銹鋼和耐高溫塑料聚酰亞胺復(fù)合材料。如此設(shè)計(jì)，防止刮傷薄膜電池，且耐高溫塑料聚酰亞胺可長(zhǎng)期工作溫度在350℃以上，保證其在PVD腔室內(nèi)不發(fā)生變化，另外，利用不銹鋼和耐高溫塑料聚酰亞胺復(fù)合材料的重量輕，減小磁控濺射夾具的重量，提高傳送速度。

作為優(yōu)化，直角楔口底部一端連接可使直角楔口做左右往返運(yùn)動(dòng)的彈簧Ⅱ，另一端設(shè)有按鈕。如此設(shè)計(jì)，便于控制直角楔口做左右往返運(yùn)動(dòng)。

作為優(yōu)化，直角楔口的邊緣設(shè)計(jì)為斜坡形，寬度小于U形豁口的寬度，且與U形豁口處于同一豎直平面內(nèi)。如此設(shè)計(jì)，便于實(shí)現(xiàn)直角楔口和U形豁口吻合在一起，達(dá)到固定薄膜電池的目的。

作為優(yōu)化，下框架上設(shè)有多個(gè)氣孔，下框架下方設(shè)有可使薄膜電池處于懸浮狀態(tài)的氣浮平臺(tái)。如此設(shè)計(jì)，氣浮平臺(tái)的壓縮空氣通過(guò)氣孔作用于薄膜電池，使薄膜電池處于懸浮狀態(tài)，防止薄膜電池流入磁控濺射夾具時(shí)刮傷，也使薄膜電池在傳送帶動(dòng)下易送入磁控濺射夾具。

作為優(yōu)化，按鈕下設(shè)有用于控制按鈕壓縮彈簧Ⅱ的氣浮推手。

作為優(yōu)化，薄鐵片和電磁感應(yīng)線圈的間距大于薄膜電池的厚度。如此設(shè)計(jì)，電磁感應(yīng)線圈與外電路連接，通電后利用電磁感應(yīng)原理，電磁感應(yīng)線圈產(chǎn)生磁場(chǎng)的磁感應(yīng)力作用于薄鐵片，薄鐵片拉伸彈簧Ⅰ向電磁感應(yīng)線圈方向運(yùn)動(dòng)，磁感應(yīng)力大于彈簧Ⅰ對(duì)薄鐵片的拉力，達(dá)到直角楔口和薄鐵片夾緊薄膜電池的目的。