[實用新型]一種磁控濺射夾具

有效

• 申請號: 201320420664.4
• 申請日: 2013-07-16
• 公開（公告）號: CN203333754U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 邵傳兵
• 申請（專利權）人: 山東禹城漢能光伏有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 李桂存

1.一種磁控濺射夾具，包括用于放置薄膜電池的中空框架，其特征在于：所述中空框架為前后兩端貫通、上框架（1）中間部分敞口的中空長方體框架；左、右兩邊上框架（1）下均固定有彈簧Ⅰ（2），彈簧Ⅰ（2）下連接薄鐵片（3），薄鐵片（3）的前、后段分別開有?U形豁口（7），U形豁口（7）下均設有用于與U形豁口（7）連接或斷開的可左右往返運動的直角楔口（8），所述直角楔口（8）設置在下框架（6）的上表面，下框架（6）左、右兩端上均設有電磁感應線圈（5），電磁感應線圈（5）與外電路連接，所述薄鐵片（3）下和電磁感應線圈（5）上均附著耐高溫薄橡膠片（4）。

2.如權利要求1所述的一種磁控濺射夾具，其特征在于：所述中空長方體框架采用表面光滑的不銹鋼和耐高溫塑料聚酰亞胺復合材料。

3.如權利要求1或2所述的一種磁控濺射夾具，其特征在于：所述直角楔口（8）底部一端連接可使直角楔口（8）做左右往返運動的彈簧Ⅱ（9），另一端設有按鈕（10）。

4.如權利要求3所述的一種磁控濺射夾具，其特征在于：所述直角楔口（8）的邊緣設計為斜坡形，寬度小于U形豁口（7）的寬度，且與U形豁口（7）處于同一豎直平面內。

5.如權利要求4所述的一種磁控濺射夾具，其特征在于：所述下框架（6）上設有多個氣孔（11），所述下框架（6）下方設有可使薄膜電池處于懸浮狀態的氣浮平臺（12）。

6.如權利要求5所述的一種磁控濺射夾具，其特征在于：所述按鈕（10）下設有用于控制按鈕（10）壓縮彈簧Ⅱ（9）的氣浮推手（13）。

7.如權利要求1或6所述的一種磁控濺射夾具，其特征在于：所述薄鐵片（3）和電磁感應線圈（5）的間距大于薄膜電池的厚度。