[實用新型]一種用于真空靶材噴涂的真空噴涂罐結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320418469.8
• 申請日: 2013-07-15
• 公開（公告）號: CN203373415U
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅永春
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門映日新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C4/12
• 分類號: C23C4/12
• 代理公司: 廈門市誠得知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35209
• 代理人: 李伊飏

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種用于真空靶材噴涂的真空噴涂罐結(jié)構(gòu)，按國際專利分類表(IPC)劃分屬于真空靶材生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

靶材是在濺射沉積技術(shù)中用做陰極的材料。該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面重新沉積。通俗的解釋為靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。而靶材在制造過程中，其必須在管狀金屬基材的基礎(chǔ)上進行等離子噴涂，進行等離子噴涂環(huán)境是決定靶材質(zhì)量與品質(zhì)的重要因素之一。

目前，市場上的靶材在等離子噴涂工序中一般在正常操作間中生產(chǎn)，這樣生產(chǎn)出的靶材具有純度低、致密度差、氧、氮含量高、結(jié)合強度低等不足，若想克服上述不足，靶材需在真空環(huán)境先進行噴涂工藝，而現(xiàn)有提供真空環(huán)境的器具均不能滿足靶材生產(chǎn)的要求，如氧氮氣氛控制、冷卻效果、安全、實時觀察等不足。

由此，本發(fā)明人考慮對現(xiàn)有提供或保持真空狀態(tài)的器具進行改進，本案由此產(chǎn)生。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、合理、成本低、實現(xiàn)真空效果的真空噴涂罐結(jié)構(gòu)，該真空噴涂罐結(jié)構(gòu)用于靶材生產(chǎn)中，實現(xiàn)了靶材的真空生產(chǎn)，大大提高靶材產(chǎn)品的質(zhì)量及品質(zhì)。

為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

一種用于真空靶材噴涂的真空噴涂罐結(jié)構(gòu)，該真空噴涂罐為內(nèi)部呈真空狀態(tài)的雙層式罐體及罐體兩端的密封端蓋，該雙層式罐體包括內(nèi)層罐體及外層罐體，所述外層罐體包裹與內(nèi)層罐體外側(cè)，并在內(nèi)層罐體及外層罐體之間形成水冷空腔，所述水冷空腔內(nèi)部設(shè)置有罐體水冷結(jié)構(gòu)。

進一步，所述水冷結(jié)構(gòu)為多條設(shè)置于水冷空腔內(nèi)的循環(huán)水冷管，所述循環(huán)水冷管包覆于內(nèi)層罐體上，且與內(nèi)層罐體配合形成高效水冷結(jié)構(gòu)。

進一步，所述雙層式罐體上設(shè)置多個觀察窗，所述多個觀察窗呈一字型排列于罐體之上，每個觀察窗上設(shè)置有防塵或刮塵清潔裝置。

進一步，所述觀察窗的數(shù)量為7個，每個觀察窗直徑不小于100mm，每個觀察窗中心距地面高度為1400mm。

進一步，所述7個觀察窗中位于中央位置的觀察窗的直徑為300mm，且該觀察窗為法蘭觀察窗。

進一步，所述法蘭觀察窗為設(shè)置有法蘭盤的觀察窗。

進一步，所述雙層式罐體上設(shè)置有抽氣口及排氣口，所述排氣口數(shù)量為3個，且每個抽氣口均配置法蘭蓋。

進一步，所述密封端蓋上設(shè)置有端蓋觀察窗，該端蓋觀察窗為法蘭觀察窗。

進一步，所述密封端蓋為配置有自鎖裝置的罐體端蓋。

進一步，所述雙層式罐體為圓形罐體。

本實用新型采用雙層結(jié)構(gòu)罐體，且雙層中增加水冷結(jié)果，實現(xiàn)在保持真空狀態(tài)下還同時實現(xiàn)快速降溫冷卻的目的，從而提高生產(chǎn)效率，降低成本；而在真空狀態(tài)下生產(chǎn)的靶材，具有高致密度、高純度、低氧、氮含量、高結(jié)合強度等優(yōu)點。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)正視圖；

圖2是圖1的側(cè)視圖；

圖3是圖1中A-A剖視圖；

圖4是圖1中C-C剖視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明：

實施例：請參閱圖1至圖4所示，一種用于真空靶材噴涂的真空噴涂罐結(jié)構(gòu)，該真空噴涂罐為內(nèi)部呈真空狀態(tài)的雙層式罐體1及罐體兩端的密封端蓋2，所述雙層式罐體1為圓形罐體，該雙層式罐體1直身段總長5000mm，內(nèi)徑1500mm，外加2個半球形端蓋2，全部采用碳鋼設(shè)計，相對極限真空度4Pa；該雙層式罐體1包括內(nèi)層罐體11及外層罐體12，所述外層罐體12包裹與內(nèi)層罐體11外側(cè)，并在內(nèi)層罐體11及外層罐體12之間形成水冷空腔13，所述水冷空腔13內(nèi)部設(shè)置有罐體水冷結(jié)構(gòu)3；所述水冷結(jié)構(gòu)3為多條設(shè)置于水冷空腔內(nèi)的循環(huán)水冷管，所述循環(huán)水冷管包覆于內(nèi)層罐體12上，且與內(nèi)層罐體12配合形成高效水冷結(jié)構(gòu)。