[實(shí)用新型]一種吸球有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320416135.7 | 申請(qǐng)日: | 2013-07-12 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN203339130U | 公開(kāi)(公告)日: | 2013-12-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 杜爭(zhēng);朱信慶 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;黃燦 |
| 地址: | 230011 安徽*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 | ||
1.一種吸球,其特征在于,包括:
球形吸頭;
吸盤,通過(guò)氣道與所述球形吸頭相連通;
氣囊,容置在所述球形吸頭內(nèi);
用于調(diào)節(jié)所述氣囊的體積,使得所述球形吸頭的氣腔內(nèi)空氣體積不同以用于調(diào)節(jié)所述吸盤吸力的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)容置在所述氣道內(nèi),其中所述氣腔為所述球形吸頭內(nèi)壁與所述氣囊外壁之間的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸球,其特征在于,所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括容置腔體以及螺裝在所述容置腔體內(nèi)的活塞,
所述容置腔體為設(shè)置在所述氣道內(nèi)的中空柱體結(jié)構(gòu);
所述氣囊設(shè)置在所述容置腔體靠近所述球形吸頭的一端,所述活塞在所述容置腔體內(nèi)上下移動(dòng)以改變所述氣囊的體積。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸球,其特征在于,所述容置腔體的外壁與所述氣道的內(nèi)壁緊密貼合,所述容置腔體側(cè)壁中開(kāi)設(shè)有多個(gè)與所述氣腔、所述吸盤相通的通氣孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸球,其特征在于,所述容置腔體的外壁與所述氣道的內(nèi)壁之間設(shè)有多個(gè)與所述氣腔、所述吸盤相通的通氣孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸球,其特征在于,所述容置腔體內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋,所述活塞的外側(cè)壁上設(shè)有與所述內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的吸球,其特征在于,所述活塞靠近所述吸盤的一側(cè)設(shè)有用于旋轉(zhuǎn)所述活塞以帶動(dòng)活塞在所述容置腔體內(nèi)上下移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)部,所述旋轉(zhuǎn)部包括中間部、設(shè)置在中間部?jī)蓚?cè)的第一結(jié)構(gòu)、第二結(jié)構(gòu),所述第一結(jié)構(gòu)和所述第二結(jié)構(gòu)均向內(nèi)凹陷形成凹部。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸球,其特征在于,所述容置腔體外壁上、沿著從所述球形吸頭至所述吸盤的方向設(shè)有多個(gè)表示吸球吸力值的標(biāo)記。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的吸球,其特征在于,所述容置腔體壁、所述氣道壁均采用透明材料制作。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸球,其特征在于,所述吸盤包括由彈性材料制成的吸盤本體,沿著所述吸盤本體的厚度方向的一側(cè)表面為可吸附在待吸附部件的凹形吸著面。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





