[實(shí)用新型]X射線熒光光譜儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320411650.6
• 申請日: 2013-07-11
• 公開（公告）號: CN203432926U
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊寧波
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市禾苗分析儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223
• 代理公司: 廣東國暉律師事務(wù)所 44266
• 代理人: 鄧鉅明

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光譜儀，更具體的說，涉及一種X射線熒光光譜儀。?

背景技術(shù)

隨著測試市場的普及，各式各樣的光譜儀應(yīng)運(yùn)而生，RoHS指令的推廣直接推動(dòng)了光譜儀器的發(fā)展，光譜儀器的功能是否強(qiáng)大、測試是否精準(zhǔn)、外觀是否富有美感等直接影響客戶的需求。?

目前的X射線熒光光譜儀將準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元、樣品系統(tǒng)單元等直接用于樣品測試分析的單元部件和真空系統(tǒng)單元中的真空泵、真空閥等輔助樣品測試分析的單元部件一起放在機(jī)箱內(nèi)部，因而準(zhǔn)直器系統(tǒng)在工作時(shí)受真空泵的干擾較大。例如，專利CN202870007U公開一種X射線熒光光譜儀，濾光盤系統(tǒng)、測試系統(tǒng)、射線發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)和樣品承載裝置等單元部件均設(shè)置在機(jī)箱內(nèi)。該種所有組成的單元部件全部存放在機(jī)箱內(nèi)的一體式X射線熒光光譜儀，其測試系統(tǒng)容易受到其他單元部件的干擾，導(dǎo)致測試準(zhǔn)確度難以進(jìn)一步提高。?

實(shí)用新型內(nèi)容

針對上述提到的現(xiàn)有技術(shù)中的X射線光譜儀機(jī)箱抗干擾能力差的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型采用一種新的機(jī)箱結(jié)構(gòu)，其采用分體式的機(jī)箱結(jié)構(gòu)，將機(jī)箱分為測量箱和輔助箱兩部分，極大地減少了輔助箱內(nèi)部結(jié)構(gòu)對測量箱內(nèi)部結(jié)構(gòu)的干擾，提高了儀器測試分析的準(zhǔn)確性。?

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是：?

一種X射線熒光光譜儀，包括準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元、樣品系統(tǒng)單元、真空系統(tǒng)單元和機(jī)箱，所述的機(jī)箱包括測量箱和輔助箱，所述的準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元和所述的樣品系統(tǒng)單元存放在所述的測量箱內(nèi)的測量室中，所述的真空系統(tǒng)單元存放在所述的輔助箱內(nèi)的輔助室中。?

所述的樣品系統(tǒng)單元包括樣品平臺，所述的樣品平臺將測量箱分割為獨(dú)立的上部空間和下部空間，所述的上部空間為用于存放樣品系統(tǒng)單元的樣品室，所述的下部空間為用于存放準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元的分析室。?

準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元設(shè)置在所述的樣品平臺的下部，即分析室內(nèi)，準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元由射線發(fā)生系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、射線探測系統(tǒng)構(gòu)成，射線發(fā)生系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、射線探測系統(tǒng)依次順序連接。準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元直接用于樣品測試分析，對氣流、真空、振動(dòng)等環(huán)境要求較高。?

真空系統(tǒng)單元設(shè)置在所述的測量箱內(nèi)，包括真空泵、與真空泵直接相連的真空閥和真空管，所述的真空管的一端通過法蘭與所述的真空閥連接，所述的真空管的另一端直接伸入所述的測量箱的測量室內(nèi)。?

準(zhǔn)直器系統(tǒng)單元中的射線發(fā)生系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、射線探測系統(tǒng)等單元部件直接用于樣品測試分析，對氣流、振動(dòng)等環(huán)境要求較高，而真空系統(tǒng)中真空泵工作時(shí)則產(chǎn)生振動(dòng)，對樣品測試分析的準(zhǔn)確度產(chǎn)生不利影響。因此，X射線熒光光譜儀采用分體式結(jié)構(gòu)，將直接用于樣品測試分析的單元部件隔離出來，存放在單獨(dú)的測量室內(nèi)，而將真空?系統(tǒng)存放于輔助室內(nèi)，從而可以避免真空系統(tǒng)的真空泵對其的干擾，提高了測試儀器分析的準(zhǔn)確性。?

較佳的，所述的測量箱設(shè)置在所述的輔助箱上方，所述的測量箱和所述的輔助箱之間留有用于散熱的間隙。為了緩沖輔助箱內(nèi)的真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，在所述的測量箱和所述的輔助箱之間還可設(shè)有用于緩沖振動(dòng)的彈性墊，所述的彈性墊為橡膠或聚四氟乙烯，優(yōu)選硅橡膠。利用彈性墊的緩沖作用，真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對測量箱的影響將明顯減小。?

較佳的，所述的測量箱包括測量箱主殼體、主面罩、測量箱左側(cè)門、測量箱右側(cè)門、測量箱后門和取樣門，所述的主面罩設(shè)置在所述的測量箱主殼體上，取樣門樞接在主面罩的頂部，測量箱左側(cè)門設(shè)置在測量箱主殼體的左側(cè)，測量箱右側(cè)門設(shè)置在測量箱主殼體的右側(cè)，測量箱后門安裝在測量箱主殼體的后面，測量箱后門上安裝有用于鎖住測量箱后門的門鎖。該門鎖具有保護(hù)及方便維修的作用。優(yōu)選的，所述的測量箱主殼體的底部安裝有用于測量箱進(jìn)風(fēng)、排風(fēng)的風(fēng)扇，所述的測量箱后門上安裝有用于所述的測量箱進(jìn)風(fēng)的風(fēng)扇。測量箱采用排風(fēng)風(fēng)扇和進(jìn)風(fēng)風(fēng)扇的配合，對測量箱內(nèi)元器件進(jìn)行強(qiáng)制散熱，可達(dá)到散熱的目的。?

較佳的，所述的輔助箱包括輔助箱主殼體，輔助箱左側(cè)門、輔助箱右側(cè)門和輔助箱后門，輔助箱左側(cè)門設(shè)置在輔助箱主殼體的左側(cè)，輔助箱右側(cè)門設(shè)置在輔助箱主殼體的右側(cè)，輔助箱后門安裝在輔助箱主殼體的后面，輔助箱后門上安裝有用于鎖住輔助箱后門的門鎖。該?門鎖具有保護(hù)和方便維修的作用。優(yōu)選的，所述的輔助箱主殼體的底部安裝有用于所述的輔助箱排風(fēng)的風(fēng)扇；所述的輔助箱后門上安裝有用于輔助箱進(jìn)風(fēng)的風(fēng)扇。輔助箱采用排風(fēng)風(fēng)扇和進(jìn)風(fēng)風(fēng)扇的配合，對輔助箱內(nèi)元器件進(jìn)行強(qiáng)制散熱，可達(dá)到散熱的目的。?