[實用新型]同心圓光刻板

有效

• 申請號: 201320398333.5
• 申請日: 2013-07-04
• 公開（公告）號: CN203324646U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 喻慧丹;裘立強;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州杰利半導體有限公司
• 主分類號: G03F1/40
• 分類號: G03F1/40
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 周全

技術領域

本實用新型涉及對二極管光刻板的改進。

背景技術

隨著半導體行業的迅速發展，擁有良好性能及品質的二極管生產工藝是企業發展的基礎，是增強企業形象和企業競爭力不可或缺的技術力量。

目前在Photo?Glass玻璃鈍化保護PN結的晶片生產工藝中，使用的光刻板圓倒角設計大都是相同尺寸，然而各圓倒角的圓心不在同一位置。其造成的問題有：一、使用傳統光刻板刻出的圖形，在蝕刻后晶粒四角比較尖銳，容易形成電場集中，造成器件失效；二、由于蝕刻后的晶粒四角比較尖銳，三次黃光工藝中光阻劑對其的保護能力比較弱，容易穿透光阻劑，尖角端的玻璃沒有被光刻膠保護起來，鍍金后尖角端玻璃被腐蝕，影響晶片外觀和對產品品質造成隱患。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種結構簡單，提高產品品質和性能的同心圓光刻板。

本實用新型的技術方案是：包括片狀本體，所述本體表面設有涂層，所述涂層包括若干晶粒圖形，所述晶粒圖形包括第一矩形和第二矩形，所述第二矩形設在所述第一矩形內、且與所述第一矩形的中心一致；

所述第一矩形具有四個第一圓倒角，所述第二矩形具有四個第二圓倒角；

????所述第一圓倒角和第二圓倒角的圓心一致。

所述本體為玻璃材質。

本實用新型使用同心圓光刻板調整晶粒四角形狀，降低了晶粒四角的尖銳程度，改善了產品的品質能力和外觀良率。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖，

圖2是本實用新型中晶粒圖形的第一次黃光工藝，

圖3是本實用新型中晶粒圖形的第二次黃光工藝，

圖4是本實用新型中晶粒圖形的第三次黃光工藝，

圖5是本實用新型第二次黃光工藝中晶粒圖形的結構示意圖；

圖中1是本體，2是涂層，20是晶粒圖形，3是第一圓倒角，4是第二圓倒角。

具體實施方式

本實用新型如圖1-5所示，包括片狀本體1，所述本體1表面設有涂層2，所述涂層2包括若干晶粒圖形20，所述晶粒圖形20包括第一矩形和第二矩形，所述第二矩形設在所述第一矩形內、且與所述第一矩形的中心一致；

所述第一矩形具有四個第一圓倒角3，所述第二矩形具有四個第二圓倒角4；

????所述第一圓倒角3和第二圓倒角4的圓心一致。

所述本體1為玻璃材質。