[實用新型]拋光機磁鐵整定鐵環結構

有效

• 申請號: 201320393440.9
• 申請日: 2013-07-03
• 公開（公告）號: CN203357243U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 陳孟端
• 申請（專利權）人: 正恩科技有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術領域

本實用新型涉及晶圓拋光，尤其涉及晶圓拋光的定位結構。

背景技術

請參閱“圖1”與“圖2”所示，發光二極管晶圓1在制造完成之后，必須進行晶圓減薄加工，其包含研磨與拋光操作，以進行后續的晶圓切割、封裝等操作。

已知發光二極管晶圓1在減薄加工時，必須加以固定不動，由于發光二極管晶圓1的厚度相當得薄，為避免裂縫或破片，無法使用一般半導體工藝使用的真空吸附固定裝置，已知為將多個發光二極管晶圓1利用固定臘2黏著固定于一圓盤3上，以進行研磨與拋光。

或者，請再參閱“圖3”所示，也有人利用一膠膜4與一鐵環5來固定發光二極管晶圓1，其中，該膠膜4具有一黏貼面4A與一底面4B，該膠膜4的黏貼面4A固定于該鐵環5下，并且該膠膜4的黏貼面4A黏貼發光二極管晶圓1。

而要進行拋光操作時，請再一并參閱“圖4”所示，鐵環5為直接吸附于一拋光機6的一吸附裝置7上以進行拋光操作，已知為用人工手持該鐵環5對準該吸附裝置7，以使該吸附裝置7間隔膠膜4來吸附發光二極管晶圓1，顯然，其相當耗費人工，因而大大地增加制造成本，難以滿足使用上的需求。

實用新型內容

于是，本實用新型的主要目的在于披露一種拋光機磁鐵整定鐵環結構，其通過整定機構的輔助，而自動化操作，可以滿足使用上的需求。

基于上述目的，本實用新型為一種拋光機磁鐵整定鐵環結構，配合一拋光裝置使用，且拋光裝置懸吊設置具有垂直位移自由度的一吸附裝置，吸附裝置間隔一膠膜地吸附一晶圓，且膠膜固定于一鐵環上，其特征在于，拋光機磁鐵整定鐵環結構包含：兩個磁鐵；以及兩個整定氣缸，兩個整定氣缸分別具有固定于拋光裝置上的一移動部與連接固定吸附裝置的一固定部，且移動部具有分別固定兩個磁鐵的兩個磁鐵移動部，以使兩個磁鐵分別緊鄰吸附裝置的不同側的邊緣，并且移動部與固定部的相對移動而推移吸附裝置進行位移，而吸附裝置具有一鐵環吸附位置與一鐵環脫離位置，且在鐵環吸附位置時，兩個磁鐵凸出于吸附裝置的表面，而在鐵環脫離位置時，則兩個磁鐵未凸出于吸附裝置的表面。

進一步地，兩個磁鐵位于吸附裝置的相鄰側的邊緣。

進一步地，移動部具有兩個穿桿，兩個穿桿穿過固定部且兩個穿桿的末端固定于兩個磁鐵移動部上。

進一步地，鐵環具有相鄰且相互垂直的兩個抵靠直邊，兩個磁鐵對應于兩個抵靠直邊設置。

據此，當該吸附裝置位于鐵環吸附位置時，此時可利用機械手臂夾持該鐵環靠近該兩個磁鐵，該兩個磁鐵即會吸附該鐵環不同側的邊緣而加以定位該鐵環，故該吸附裝置即可間隔該膠膜吸附該晶圓；又拋光操作結束后，為通過該移動部與該固定部的相對移動而推移該吸附裝置至鐵環脫離位置，此時該兩個磁鐵即會遠離該鐵環，而不再吸附該鐵環，當該吸附裝置的吸力去除時，即可利用機械手臂夾持該鐵環，其可形成自動化的操作流程，以節省人力成本，來滿足使用上的需要。

附圖說明

圖1為已知發光二極管晶圓結構圖。

圖2為已知發光二極管晶圓固定示意圖。

圖3為另一已知膠膜與鐵環固定晶圓的示意圖。

圖4為已知鐵環固定于拋光盤結構圖。

圖5A為本實用新型鐵環靠近磁鐵俯視圖。

圖5B為本實用新型磁鐵吸附鐵環俯視圖。

圖6為本實用新型結構側視圖。

圖7為本實用新型鐵環脫離結構側視圖。

具體實施方式

有關本實用新型的詳細說明及技術內容，現就配合圖式說明如下：

請參閱“圖5A”、“圖5B”與“圖6”所示，本實用新型為一種拋光機磁鐵整定鐵環結構，配合一拋光裝置10使用，且該拋光裝置10懸吊設置具有垂直位移自由度的一吸附裝置11，該吸附裝置11間隔一膠膜22吸附一晶圓21，且該膠膜22固定于一鐵環20上，該拋光機磁鐵整定鐵環結構包含兩個磁鐵30以及兩個整定氣缸40。

其中，該兩個整定氣缸40分別具有固定于該拋光裝置10上的一移動部41與連接固定該吸附裝置11的一固定部42，該移動部41具有分別固定該兩個磁鐵30的兩個磁鐵移動部411，且使該兩個磁鐵30分別緊鄰該吸附裝置11不同側的邊緣。而在實際實施上，該兩個磁鐵30可以位于該吸附裝置11相鄰側的邊緣，且當該鐵環20具有相鄰且垂直的兩個抵靠直邊201時，該兩個磁鐵30可以對應該兩個抵靠直邊201設置，以達較佳的定位效果。并且該移動部41可以具有兩個穿桿412，且該兩個穿桿412穿過該固定部42且末端固定該兩個磁鐵移動部411。