[實用新型]拋光機磁鐵整定鐵環結構

有效

• 申請號: 201320393440.9
• 申請日: 2013-07-03
• 公開（公告）號: CN203357243U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 陳孟端
• 申請（專利權）人: 正恩科技有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

1.一種拋光機磁鐵整定鐵環結構，配合一拋光裝置使用，且所述拋光裝置懸吊設置具有垂直位移自由度的一吸附裝置，所述吸附裝置間隔一膠膜地吸附一晶圓，且所述膠膜固定于一鐵環上，其特征在于，所述拋光機磁鐵整定鐵環結構包含：

兩個磁鐵；以及

兩個整定氣缸，所述兩個整定氣缸分別具有固定于所述拋光裝置上的一移動部與連接固定所述吸附裝置的一固定部，且所述移動部具有分別固定所述兩個磁鐵的兩個磁鐵移動部，以使所述兩個磁鐵分別緊鄰所述吸附裝置的不同側的邊緣，并且所述移動部與所述固定部的相對移動而推移所述吸附裝置進行位移，而所述吸附裝置具有一鐵環吸附位置與一鐵環脫離位置，且在所述鐵環吸附位置時，所述兩個磁鐵凸出于所述吸附裝置的表面，而在所述鐵環脫離位置時，則所述兩個磁鐵未凸出于所述吸附裝置的表面。

2.根據權利要求1所述的拋光機磁鐵整定鐵環結構，其特征在于，所述兩個磁鐵位于所述吸附裝置的相鄰側的邊緣。

3.根據權利要求1所述的拋光機磁鐵整定鐵環結構，其特征在于，所述移動部具有兩個穿桿，所述兩個穿桿穿過所述固定部且所述兩個穿桿的末端固定于所述兩個磁鐵移動部上。

4.根據權利要求1所述的拋光機磁鐵整定鐵環結構，其特征在于，所述鐵環具有相鄰且相互垂直的兩個抵靠直邊，所述兩個磁鐵對應于所述兩個抵靠直邊設置。